【摘要】本發(fā)明提供一種SONOS柵極結(jié)構(gòu)及其形成方 法，所述SONOS柵極結(jié)構(gòu)，包含：一具有側(cè)壁的柵極圖案位 于一基底上，其中柵極圖案包括一柵極介電層及一柵極電極； 一氧化層結(jié)構(gòu)位于基底上及柵極圖案的側(cè)壁，其中氧化層結(jié)構(gòu) 包括一相對較薄的部
【摘要】 一種氣壓式精密防震臺，包含一個(gè)具有一個(gè)底壁、一個(gè)底圍繞壁、一個(gè)安裝空間的底座單元、數(shù)個(gè)設(shè)置于該底壁上的防震單元，及一個(gè)上蓋單元，該防震單元具有一個(gè)頂、底蓋、一個(gè)囊壁、一個(gè)將該囊壁的一頂、底端部束緊于該頂、底蓋上的上、下束環(huán)、一個(gè)容置空間及一個(gè)裝設(shè)于該囊壁上的氣嘴，該底蓋是與該底壁間隔一間距，該上蓋單元具有一個(gè)與該頂蓋連接的頂壁及一個(gè)頂圍繞壁，當(dāng)該囊壁在一未充氣狀態(tài)時(shí)，囊壁的一鄰近該底端部的一底腰部是下垂至介于所述底蓋與該底壁之間，該頂、底圍繞壁是互相鄰近，當(dāng)該囊壁在一充氣狀態(tài)時(shí)，該底腰部是膨脹上移至遠(yuǎn)離該底蓋，該頂、底圍繞壁是互相遠(yuǎn)離。本實(shí)用新型不但便于制造，且可局部更換該囊壁。 【專利類型】實(shí)用新型 【申請人】陳東茂 【申請人類型】個(gè)人 【申請人地址】中國臺灣彰化縣 【申請人地區(qū)】中國 【申請人城市】臺灣省 【申請?zhí)枴緾N200620149930.4 【申請日】2006-11-09 【申請年份】2006 【公開公告號】CN200968379Y 【公開公告日】2007-10-31 【公開公告年份】2007 【授權(quán)公告號】CN200968379Y 【授權(quán)公告日】2007-10-31 【授權(quán)公告年份】2007.0 【IPC分類號】F16F13/00 【發(fā)明人】陳東茂 【主權(quán)項(xiàng)內(nèi)容】1.一種氣壓式精密防震臺，包含一個(gè)底座單元、數(shù)個(gè)防震單元， 及一個(gè)上蓋單元，其特征在于： 該底座單元，具有一個(gè)底壁、一個(gè)設(shè)置于該底壁上的底圍繞壁， 及一個(gè)由該底壁與該底圍繞壁配合界定出的安裝空間； 所述防震單元，是分別設(shè)置于該底壁上并位于該安裝空間內(nèi)，所 述防震單元分別具有一個(gè)頂蓋、一個(gè)相反于該頂蓋的底蓋、一個(gè)與該 頂、底蓋連接的囊壁、一個(gè)將該囊壁的一頂端部束緊于該頂蓋上的上 束環(huán)、一個(gè)將該囊壁的一底端部束緊于底蓋上的下束環(huán)、一個(gè)由該頂、 底蓋與該囊壁配合界定出的容置空間，及一個(gè)裝設(shè)于該囊壁上的氣 嘴，所述底蓋是分別與該底壁間隔一間距，所述囊壁是在一未充氣狀 態(tài)與一充氣狀態(tài)之間變換，當(dāng)所述囊壁在該未充氣狀態(tài)時(shí)，所述囊壁 的一鄰近該底端部的一底腰部是分別下垂至介于所述底蓋與該底壁 之間，當(dāng)所述囊壁在該充氣狀態(tài)時(shí)，所述囊壁的底腰部是分別膨脹上 移至遠(yuǎn)離所述底蓋；及 該上蓋單元，是裝設(shè)于所述防震單元的頂蓋上，該上蓋單元具有 一個(gè)相反于該底壁的頂壁，及一個(gè)設(shè)置于該頂壁上并對應(yīng)于該底圍繞 壁的頂圍繞壁，該頂壁是分別與所述頂蓋連接，當(dāng)在該未充氣狀態(tài)時(shí)， 該頂、底圍繞壁是互相鄰近，當(dāng)在該充氣狀態(tài)時(shí)，該頂、底圍繞壁是 互相遠(yuǎn)離。 【當(dāng)前權(quán)利人】陳東茂 【當(dāng)前專利權(quán)人地址】中國臺灣彰化縣 【引證次數(shù)】2.0 【自引次數(shù)】2.0 【家族引證次數(shù)】2.0
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