【摘要】本實用新型是有關在一種快速定位吊桿的改進 結構，本體兩端中各設有一定位組件，定位組件中預設有一透 孔，該透孔可供一滑動裝置穿設，且滑動組件夾附本體，形成 一穩定可伸縮軌道。【專利類型】實用新型【申請人】李安昌; 李有祥【申請人類型】
【摘要】 本發明是關于一種微影系統及其制程，該微影制程，其包括：接收具有感光層的基底；提供能夠使所述感光層的一部分曝光的光源；和提供能夠定義要轉移到感光層的至少一個圖案的光罩。具體地說，基底在感光層上或上方具有上表面，且光罩在其第一表面處接收光源的電磁波，并從其第二表面產生多個電磁成分。微影制程還可包括：提供透鏡，其在透鏡的下表面處提供平整表面，用于將圖案轉移到感光層；和調節透鏡的平整表面與基底的上表面之間的距離，以控制投射到感光層上的電磁成分的數目和量。 【專利類型】發明申請 【申請人】旺宏電子股份有限公司 【申請人類型】企業 【申請人地址】中國臺灣新竹縣科學工業園區力行路16號 【申請人地區】中國 【申請人城市】臺灣省 【申請號】CN200610127750.0 【申請日】2006-09-01 【申請年份】2006 【公開公告號】CN101086624A 【公開公告日】2007-12-12 【公開公告年份】2007 【授權公告號】CN101086624B 【授權公告日】2013-08-21 【授權公告年份】2013.0 【IPC分類號】G03F7/20; H01L21/00 【發明人】吳宗顯; 楊大弘; 盧志遠 【主權項內容】1、一種微影制程，其特征在于其包括： 接收具有一感光層的一基底； 提供一光源，能夠使該感光層的一部分曝光； 提供一光罩，能夠定義出要轉移到該感光層的至少一個圖案，其中該 光罩在其第一表面處接收所述光源的電磁波，且從其第二表面產生多 個電磁成分； 提供一透鏡，用于將該圖案轉移到該感光層，且該透鏡在其下表面處 提供平整表面；以及 調節該透鏡的平整表面與該基底的上表面之間的距離，以控制投射到 該感光層上的該些電磁成分的數目和量。 【當前權利人】旺宏電子股份有限公司 【當前專利權人地址】中國臺灣新竹縣科學工業園區力行路16號 【引證次數】4.0 【被引證次數】1 【他引次數】4.0 【被他引次數】1.0 【家族引證次數】27.0 【家族被引證次數】3
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