【摘要】本發明公開了一種用于轉化液化氣所含硫醇的 催化劑的制備方法，該方法具有以下步驟：①載體的活化；② 將活性組分溶解在溶劑中；所述的活性組分為酞菁鈷類化合 物；所述溶劑為單一有機溶劑、有機混合溶劑或者有機－無機 混合溶劑；③將步驟①中活
【摘要】 一種多功能半導體晶片鍵合裝置，包括鍵合腔室，該鍵合腔室中間的下部安裝有一下壓頭；抽真空裝置與鍵合腔室連接，控制真空泵機組對鍵合腔室抽真空，并且實時監測鍵合腔室的真空度；加熱裝置位于鍵合腔室內，對鍵合腔室加熱到設定的溫度，并且通過反饋裝置保持鍵合腔室的溫度在一定范圍內，并且能夠實時監測鍵合腔室的溫度；氣體氛圍改變裝置與鍵合腔室連接，改變鍵合腔室的氣體氛圍分別為真空、氮氣氛圍、氫氣氛圍或者氮氣氫氣混合氛圍；施力裝置位于鍵合腔室的任一側，為鍵合腔室內的半導體晶片施加壓力，并且可以實時監控鍵合晶片上施加的壓力。 【專利類型】發明申請 【申請人】中國科學院半導體研究所 【申請人類型】科研單位 【申請人地址】100083北京市海淀區清華東路甲35號 【申請人地區】中國 【申請人城市】北京市 【申請人區縣】海淀區 【申請號】CN200610082853.X 【申請日】2006-06-15 【申請年份】2006 【公開公告號】CN101090082A 【公開公告日】2007-12-19 【公開公告年份】2007 【IPC分類號】H01L21/603; B23K20/00; H01L21/02 【發明人】楊國華; 何國榮; 石巖; 宋國峰; 鄭婉華; 陳良惠 【主權項內容】1、一種多功能半導體晶片鍵合裝置，包括鍵合腔室、 抽真空裝置、加熱裝置、氣體氛圍改變裝置和施力裝置，其 特征在于，其中： 該鍵合腔室提供鍵合所需的潔凈空間，該鍵合腔室中間 的下部安裝有一下壓頭； 抽真空裝置，該抽真空裝置與鍵合腔室連接，控制真空 泵機組對鍵合腔室抽真空，并且實時監測鍵合腔室的真空度； 加熱裝置，該加熱裝置位于鍵合腔室內，對鍵合腔室加 熱到設定的溫度，并且通過反饋裝置保持鍵合腔室的溫度在 一定范圍內，并且能夠實時監測鍵合腔室的溫度； 氣體氛圍改變裝置，該氣體氛圍改變裝置與鍵合腔室連 接，改變鍵合腔室的氣體氛圍分別為真空、氮氣氛圍、氫氣 氛圍或者氮氣氫氣混合氛圍； 施力裝置，該施力裝置位于鍵合腔室的任一側，為鍵合 腔室內的半導體晶片施加壓力，并且可以實時監控鍵合晶片 上施加的壓力。 【當前權利人】中國科學院半導體研究所 【當前專利權人地址】北京市海淀區清華東路甲35號 【統一社會信用代碼】12100000400012385U 【被引證次數】15 【被自引次數】3.0 【被他引次數】12.0 【家族被引證次數】15
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