【專利類型】外觀設(shè)計(jì)【申請(qǐng)人】鄧勇【申請(qǐng)人類型】個(gè)人【申請(qǐng)人地址】101100北京市通州區(qū)云景東路15號(hào)院1號(hào)1506【申請(qǐng)人地區(qū)】中國(guó)【申請(qǐng)人城市】北京市【申請(qǐng)人區(qū)縣】通州區(qū)【申請(qǐng)?zhí)枴緾N200630021831.3【申請(qǐng)日】2006-0
【摘要】 本實(shí)用新型公開了一種長(zhǎng)壽命離子源中的間熱式陰極固定裝置,包括石墨熱屏蔽板、陰極連接螺孔、兩固定連接孔、兩陰極引線螺孔及兩定位銷釘:所述的石墨熱屏蔽板為高純石墨材料,具有良好的耐高溫、抗腐蝕性能,通過陰極連接螺孔安裝陰極,并對(duì)放電弧室進(jìn)行熱屏蔽隔離;所述的陰極連接螺孔安裝間熱式陰極,固定連接孔安裝固定石墨熱屏蔽板于陶瓷絕緣塊上;陰極引線螺孔連接陰極高電位引線;定位銷釘使石墨熱屏蔽板與陶瓷絕緣塊相對(duì)位置保持 不變,本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)連接穩(wěn)定可靠,具有抗熱變形、抗高溫腐蝕性能好特點(diǎn);同時(shí)結(jié)構(gòu)連接操作方便,可靠性好,保證了離子源長(zhǎng)期工作的穩(wěn)定可靠性。 【專利類型】實(shí)用新型 【申請(qǐng)人】北京中科信電子裝備有限公司 【申請(qǐng)人類型】企業(yè) 【申請(qǐng)人地址】100036北京市海淀區(qū)復(fù)興路乙20號(hào)匯通商務(wù)樓北門44號(hào)辦公樓2層?xùn)|段 【申請(qǐng)人地區(qū)】中國(guó) 【申請(qǐng)人城市】北京市 【申請(qǐng)人區(qū)縣】海淀區(qū) 【申請(qǐng)?zhí)枴緾N200620113057.3 【申請(qǐng)日】2006-04-24 【申請(qǐng)年份】2006 【公開公告號(hào)】CN200953336Y 【公開公告日】2007-09-26 【公開公告年份】2007 【授權(quán)公告號(hào)】CN200953336Y 【授權(quán)公告日】2007-09-26 【授權(quán)公告年份】2007.0 【IPC分類號(hào)】H01J37/08; H01J37/317; H01L21/265; H01L21/425; C30B31/22; C30B31/00; H01L21/02 【發(fā)明人】伍三忠; 戴習(xí)毛; 易文杰; 許波濤 【主權(quán)項(xiàng)內(nèi)容】1、長(zhǎng)壽命離子源中的間熱式陰極固定裝置,包括石墨熱屏蔽板、 陰極連接螺孔、兩固定連接孔、兩陰極引線螺孔及兩定位銷釘;陰極 連接螺孔、兩固定連接孔、兩陰極引線螺孔及兩定位銷釘都設(shè)置在石 墨熱屏蔽板上。 其特征是所述的石墨熱屏蔽板通過陰極連接螺孔安裝陰極,并對(duì) 放電弧室進(jìn)行熱屏蔽隔離; 所述的陰極連接螺孔安裝間熱式陰極,并使其位置保持不變; 所述的固定連接孔安裝固定石墨熱屏蔽板于陶瓷絕緣塊上; 所述的陰極引線螺孔連接陰極高電位引線,實(shí)現(xiàn)偏置電壓供電; 所述的定位銷釘使石墨熱屏蔽板與陶瓷絕緣塊相對(duì)位置保持不 變,從而保證陰極與弧室間相對(duì)位置保持不變。。 【當(dāng)前權(quán)利人】北京中科信電子裝備有限公司 【當(dāng)前專利權(quán)人地址】北京市海淀區(qū)復(fù)興路乙20號(hào)匯通商務(wù)樓北門44號(hào)辦公樓2層?xùn)|段 【專利權(quán)人類型】有限責(zé)任公司(法人獨(dú)資) 【統(tǒng)一社會(huì)信用代碼】911101127513429762
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