【摘要】本發(fā)明的視頻信號產(chǎn)生裝置，是通過增加一具有多輸出埠的多輸出分流器和一視頻信號接頭，直接與一具多個視頻輸入埠的受測機臺連接，以免除信號線的使用進而解決阻抗匹配的問題，和減少因為信號線在高溫下所引起的噪音。另外，通過一可編程微處理器中的
【摘要】 扭擺式硅MEMS角加速度傳感器由敏感元件、電容式變換器、反饋靜電力矩器、信號處理電路以及殼體組成，殼體包括真空封裝和基座，敏感元件包括兩個固連在基座上的錨點、一個活動極板、兩個兩端分別固連在錨點和活動極板上的撓性支撐梁和兩個對稱分布在活動極板上表面的質(zhì)量塊，撓性支撐梁位于活動極板的中心線上，在活動極板下面的基座上，埋置兩對對稱分布的固定極板，一對為電容式變換器的敏感電極，一對為反饋靜電力矩器的施力電極，通過導線分別與電容式變換電路和反饋靜電力矩器連接，敏感元件敏感角加速度產(chǎn)生繞著撓性梁軸向的角位移，以此檢測角加速度。本發(fā)明體積小，成本低，可應(yīng)用于慣性穩(wěn)定控制系統(tǒng)，角振動測試系統(tǒng)以及慣性導航系統(tǒng)。 【專利類型】發(fā)明授權(quán) 【申請人】北京航空航天大學 【申請人類型】學校 【申請人地址】100083北京市海淀區(qū)學院路37號 【申請人地區(qū)】中國 【申請人城市】北京市 【申請人區(qū)縣】海淀區(qū) 【申請?zhí)枴緾N200610011906.9 【申請日】2006-05-16 【申請年份】2006 【公開公告號】CN100335906C 【公開公告日】2007-09-05 【公開公告年份】2007 【授權(quán)公告號】CN100335906C 【授權(quán)公告日】2007-09-05 【授權(quán)公告年份】2007.0 【發(fā)明人】房建成; 李建利; 張海鵬; 張延順; 俞文伯 【主權(quán)項內(nèi)容】1、扭擺式硅MEMS角加速度傳感器，其特征在于：由敏感元件(8)、 電容式變換器(9)、反饋靜電力矩器(10)、信號處理電路(11)以及殼 體(12)組成，殼體(12)包括真空封裝外殼和基座(1)，敏感元件(8) 包括兩個固連在基座(1)上的錨點(2)、一個活動極板(3)、兩個兩端 分別固連在錨點(2)和活動極板(3)上的撓性支撐梁(4)和兩個對稱分 布在活動極板(3)上表面的質(zhì)量塊(5)，撓性支撐梁(4)位于活動極板 (3)的中心線上，在活動極板(3)下面的基座上，埋置兩對對稱分布的固 定極板，一對為電容式變換器(9)的敏感電極(6)，一對為反饋靜電力矩 器(10)的施力電極(7)，通過導線分別與電容式變換器(9)和反饋靜 電力矩器(10)連接，敏感元件(8)敏感角加速度產(chǎn)生繞著撓性支撐梁(4) 軸向角位移，以此檢測角加速度。 【當前權(quán)利人】北京航空航天大學 【當前專利權(quán)人地址】北京市海淀區(qū)學院路37號 【統(tǒng)一社會信用代碼】12100000400011227Y 【家族被引證次數(shù)】TRUE
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