【專利類型】外觀設計【申請人】方維行【申請人類型】個人【申請人地址】100085北京市海淀區上地信息產業基地創業路18號【申請人地區】中國【申請人城市】北京市【申請人區縣】海淀區【申請號】CN200630098524.5【申請日】2006-
【摘要】 本實用新型涉及應用離子注入機的真空系統過壓保護裝置，具體為真空用過壓流閥，其特征在于由墊圈(1)，KF接口(2)，彈簧(3)，溢流密封蓋板(4)，外罩(5)，內六角圓柱頭螺釘(6)，O型密封圈(7)和O型密封圈(8)，彈性擋圈(9)，卡套接頭(10)。當內部壓力高于所調定壓力時，自動溢流排氣，防止由于過壓對部分系統元件的破壞或發生壓力爆炸，起到保護真空系統安全運行的作用。 【專利類型】實用新型 【申請人】北京中科信電子裝備有限公司 【申請人類型】企業 【申請人地址】100036北京市海淀區復興路乙20號匯通商務樓北門44號辦公樓2層東段 【申請人地區】中國 【申請人城市】北京市 【申請人區縣】海淀區 【申請號】CN200620008180.9 【申請日】2006-03-17 【申請年份】2006 【公開公告號】CN2929393Y 【公開公告日】2007-08-01 【公開公告年份】2007 【授權公告號】CN2929393Y 【授權公告日】2007-08-01 【授權公告年份】2007.0 【IPC分類號】F16K17/04 【發明人】彭立波; 姚琛; 鐘新華; 唐景庭 【主權項內容】1.真空用充氣過壓溢流閥，其特征在于，由下列部件構成：墊圈(1)，KF接口(2)， 彈簧(3)，溢流密封蓋板(4)，外罩(5)，內六角圓柱頭螺釘(6)，O型密封圈(7) 和O型密封圈(8)，彈性擋圈(9)，卡套接頭(10)； 所述的墊圈(1)是墊在彈性擋圈(9)和彈簧(3)之間，限定和調節彈簧(3)； 所述的KF接口(2)為閥體的結構接口，外罩(5)通過內六角圓柱頭螺釘(6) 連接到KF接口(2)上，成一密封腔體，阻止溢流氣體直接進入外部環境； 所述的O型密封圈(7)密封KF接口(2)和外罩(5)的貼合面；所述的O型密 封圈(8)密封KF接口(2)和溢流密封蓋板(4)的貼合面；KF接口(2)內有圓孔 平臺，放置彈簧(3)； 所述的彈簧(3)套在溢流密封蓋板(4)下端長桿外面，上端和KF接口(2)的 圓孔平臺的平臺面接觸，下端與墊片1接觸； 所述的溢流密封蓋板(4)在充氣過壓溢流閥中起著閥芯的作用，靠近下端面處 有小圓環槽，卡裝彈性擋圈(9)，下端長桿中心有溢流通道孔；所述的彈性擋圈(9) 卡裝在溢流密封蓋板(4)的下端長桿下端面處的圓環槽內，擋住墊片(1)；所述的 卡套接頭(10)是快插接頭，內插排氣管道，卡套接頭(10)用錐管螺紋連接到外罩 (5)上。 【當前權利人】北京中科信電子裝備有限公司 【當前專利權人地址】北京市海淀區復興路乙20號匯通商務樓北門44號辦公樓2層東段 【專利權人類型】有限責任公司(法人獨資) 【統一社會信用代碼】911101127513429762 【被引證次數】1 【被自引次數】1.0 【家族被引證次數】1
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