【摘要】本發(fā)明涉及聚合物表面光接枝長(zhǎng)脂肪碳鏈季銨鹽的方法,屬于高分子材料技術(shù)領(lǐng)域。在帶有羥基的叔胺的溶液中加入三乙胺和含有C=C不飽和雙鍵的酰氯,得到反應(yīng)產(chǎn)物A,在其中加入丙酮、二氯甲烷或乙睛中的任何一種作為溶劑,再加入脂肪族鹵化物進(jìn)行回流
【摘要】 本發(fā)明一種用于半導(dǎo)體激光器中光柵制作的腐蝕液,其特征在于,該腐蝕溶液是按體積比為:Br2∶HBr∶H2O=1∶25∶480配制的混合溶液。本發(fā)明的有益效果是在GaInP材料上腐蝕出較好得光柵形貌,從而得到了好得器件性能。同時(shí),該腐蝕液還可用于其它III-V族化合物半導(dǎo)體材料的腐蝕,具有廣泛的應(yīng)用價(jià)值。 【專利類型】發(fā)明申請(qǐng) 【申請(qǐng)人】中國(guó)科學(xué)院半導(dǎo)體研究所 【申請(qǐng)人類型】科研單位 【申請(qǐng)人地址】100083北京市海淀區(qū)清華東路甲35號(hào) 【申請(qǐng)人地區(qū)】中國(guó) 【申請(qǐng)人城市】北京市 【申請(qǐng)人區(qū)縣】海淀區(qū) 【申請(qǐng)?zhí)枴緾N200610011983.4 【申請(qǐng)日】2006-05-25 【申請(qǐng)年份】2006 【公開公告號(hào)】CN101078120A 【公開公告日】2007-11-28 【公開公告年份】2007 【授權(quán)公告號(hào)】CN100476039C 【授權(quán)公告日】2009-04-08 【授權(quán)公告年份】2009.0 【IPC分類號(hào)】C23F1/16; H01S5/323; C23F1/10; H01S5/00 【發(fā)明人】付生輝; 鐘源; 陳良惠 【主權(quán)項(xiàng)內(nèi)容】1、一種用于半導(dǎo)體激光器中光柵制作的腐蝕液,其特征 在于,該腐蝕溶液是按體積比為: Br2∶HBr∶H2O=1∶25∶480配制的混合溶液。 【當(dāng)前權(quán)利人】嘉興海創(chuàng)激光科技有限公司 【當(dāng)前專利權(quán)人地址】浙江省嘉興市南湖區(qū)凌公塘路3339號(hào)(嘉興科技城)1號(hào)樓125室 【統(tǒng)一社會(huì)信用代碼】12100000400012385U 【家族引證次數(shù)】5.0
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