【摘要】一種復(fù)合攪拌煙氣脫硫裝置，屬于環(huán)境保護(hù)工程領(lǐng)域。本實用新型的主要特點是：反應(yīng)器為圓柱形塔體，塔底直徑1～12m，塔高5～60m，煙氣沿著圓柱形塔體的切線方向進(jìn)入，并沿著反應(yīng)器壁自上而下地旋轉(zhuǎn)流動；攪拌器由鏈條式和葉片式交替配置，攪拌
【摘要】 一種可自檢微機(jī)械熱電堆生物反應(yīng)熱探測器，為軸對稱結(jié)構(gòu)，在硅襯底的一面上依次有氧化硅和氮化硅絕緣層；在氮化硅絕緣層上并排兩組由兩種不同金屬首尾相連構(gòu)成的熱電偶，該兩組熱電偶成軸對稱狀，在軸線上及兩組熱電偶的兩側(cè)各有一條狀電阻為自檢元件；鄰近軸線的熱電偶側(cè)為熱端，另一側(cè)熱電偶為冷端；冷端和熱端下面的硅襯底另一面均有熱隔離槽；兩組熱電偶的一端有預(yù)熱線圈。其制備方法：硅片上制備二氧化硅和氮化硅的制備；制備第一種和第二種熱電堆材料、自檢材料用預(yù)熱圈；背面深刻蝕，完成熱電堆的制備；制備方法采用常規(guī)MEMS工藝，只需3～4張掩膜版，加工成品率高，可批量生產(chǎn)。 【專利類型】發(fā)明申請 【申請人】中國科學(xué)院電子學(xué)研究所 【申請人類型】科研單位 【申請人地址】100080北京市海淀區(qū)北四環(huán)西路19號 【申請人地區(qū)】中國 【申請人城市】北京市 【申請人區(qū)縣】海淀區(qū) 【申請?zhí)枴緾N200610075780.1 【申請日】2006-05-09 【申請年份】2006 【公開公告號】CN101071842A 【公開公告日】2007-11-14 【公開公告年份】2007 【發(fā)明人】董海峰; 趙湛; 陳德勇 【主權(quán)項內(nèi)容】1.一種可自檢微機(jī)械熱電堆生物反應(yīng)熱探測器，為軸對稱結(jié)構(gòu)，在硅 襯底的一面上依次有二氧化硅和氮化硅絕緣層；在氮化硅絕緣層上并排兩 組由兩種不同金屬首尾相連構(gòu)成的熱電偶，該兩組熱電偶成軸對稱狀，在 軸線上及兩組熱電偶的兩側(cè)各有一條狀電阻為自檢元件；鄰近軸線的熱電 偶側(cè)為熱端，另一側(cè)熱電偶為冷端；冷端和熱端下面的硅襯底另一面均有 熱隔離槽；兩組熱電偶的一端有預(yù)熱線圈。 【當(dāng)前權(quán)利人】中國科學(xué)院電子學(xué)研究所 【當(dāng)前專利權(quán)人地址】北京市海淀區(qū)北四環(huán)西路19號 【統(tǒng)一社會信用代碼】12100000400012406C 【被引證次數(shù)】8 【被他引次數(shù)】8.0 【家族被引證次數(shù)】8
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