【摘要】本實(shí)用新型公開了一種智能密鑰設(shè)備，包括輸入裝置，輸入裝置與MCU連接。輸入裝置可以與MCU直接連接或者串行、并行通訊，也可以使用矩陣式連接的開關(guān)與MCU連接。本實(shí)用新型有效避免了用戶密碼通過PC端的輸入裝置輸入存在密碼安全隱患的PC
【摘要】 本實(shí)用新型涉及一種離子注入機(jī)的長壽命離子 源，屬半導(dǎo)體器件制造領(lǐng)域，提出一種離子源陰極、加熱電子 槍及弧室之間絕緣裝置，在一陶瓷絕緣塊1上設(shè)置有用于弧室 間定位的弧室間定位孔4、用于弧室間固定連接的弧室間連接 孔5，設(shè)置有用于與熱屏蔽板定位的熱屏蔽板定位孔6，設(shè)置 有燈絲桿固定孔2、用于左右燈絲桿固定，水平設(shè)置一個陰極 與燈絲桿間爬電槽8，由所述爬電槽8左右對稱位置向下，設(shè) 置一個兩燈絲桿間爬電槽3，在陶瓷絕緣塊的兩側(cè)面上，沿垂 直對稱位置及所述陰極與燈絲桿間爬電槽8下方相應(yīng)位置設(shè)置 有一個門字形爬電槽，是燈絲與弧室間爬電槽9，結(jié)構(gòu)緊湊， 穩(wěn)定可靠，抗高溫耐腐蝕；結(jié)構(gòu)連接操作方便；絕緣及防污染 爬電性能好。 【專利類型】實(shí)用新型 【申請人】北京中科信電子裝備有限公司 【申請人類型】企業(yè) 【申請人地址】100036北京市海淀區(qū)復(fù)興路乙20號匯通商務(wù)樓北門44號辦公樓2層?xùn)|段 【申請人地區(qū)】中國 【申請人城市】北京市 【申請人區(qū)縣】海淀區(qū) 【申請?zhí)枴緾N200620008175.8 【申請日】2006-03-17 【申請年份】2006 【公開公告號】CN2891269Y 【公開公告日】2007-04-18 【公開公告年份】2007 【授權(quán)公告號】CN2891269Y 【授權(quán)公告日】2007-04-18 【授權(quán)公告年份】2007.0 【IPC分類號】H01J37/08; H01J37/02; H01J37/04; H01J37/317; H01L21/265; H01L21/425 【發(fā)明人】戴習(xí)毛; 龍會躍; 袁衛(wèi)華 【主權(quán)項(xiàng)內(nèi)容】1.一種離子源陰極、加熱電子槍及弧室之間絕緣裝置，其特征在于： 一陶瓷絕緣塊(1)上設(shè)置有用于弧室間定位的弧室間定位孔(4)、用 于弧室間固定連接的弧室間連接孔(5)，設(shè)置有用于與熱屏蔽板定位 的熱屏蔽板定位孔(6)，設(shè)置有燈絲桿固定孔(2)，用于左右燈絲桿 固定，水平設(shè)置一個陰極與燈絲桿間爬電槽(8)，由所述爬電槽(8) 中心對稱位置向下設(shè)置一個兩燈絲桿間爬電槽(3)，在陶瓷絕緣塊的 兩側(cè)面上，沿垂直對稱位置及所述陰極與燈絲桿間爬電槽(8)下方相 應(yīng)位置設(shè)置有一個門字形爬電槽，即燈絲與弧室間爬電槽(9)。 【當(dāng)前權(quán)利人】北京中科信電子裝備有限公司 【當(dāng)前專利權(quán)人地址】北京市海淀區(qū)復(fù)興路乙20號匯通商務(wù)樓北門44號辦公樓2層?xùn)|段 【專利權(quán)人類型】有限責(zé)任公司(法人獨(dú)資) 【統(tǒng)一社會信用代碼】911101127513429762 【被引證次數(shù)】2 【被自引次數(shù)】1.0 【被他引次數(shù)】1.0 【家族被引證次數(shù)】2
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