【摘要】一種車載移動式檢查系統，包括：移動裝置；在掃描檢查期間驅動移動裝置移動的驅動裝置；用于發射射線的射線源；可樞轉地設置在移動裝置上的回轉臺；安裝在回轉臺上的立柱；與立柱的上端相連且設有探測器陣列的橫探測器梁；和與橫探測器梁相連、與橫探
【摘要】 本發明公開了一種加工周期性納米結構器件的 方法。本發明所提供的加工周期性納米結構器件的方法，包括 如下步驟：1)準備并清洗所選用的襯底，在襯底上圖形化出結 構層；2)選擇與所述結構層材料不同的另一種材料，在所述結 構層的側面進行側墻沉積，各向異性刻蝕后在所述結構層的側 面形成一側墻；3)以不同的材料重復步驟2)，經過多次沉積、 刻蝕，在所述襯底上形成所述周期性納米結構器件。基于本發 明制作的周期性納米柵、納米“網格”、納米柱等，可應用于 光學器件、生物醫學檢測器件、傳感器件、電子器件等領域。 【專利類型】發明申請 【申請人】北京大學 【申請人類型】學校 【申請人地址】100871北京市海淀區頤和園路5號北京大學 【申請人地區】中國 【申請人城市】北京市 【申請人區縣】海淀區 【申請號】CN200610113830.0 【申請日】2006-10-18 【申請年份】2006 【公開公告號】CN1944237A 【公開公告日】2007-04-11 【公開公告年份】2007 【授權公告號】CN100593508C 【授權公告日】2010-03-10 【授權公告年份】2010.0 【IPC分類號】B82B3/00 【發明人】吳文剛; 韓翔; 郝一龍; 王陽元 【主權項內容】1、一種加工周期性納米結構器件的方法，包括如下步驟： 1)準備并清洗所選用的襯底，在襯底上圖形化出結構層； 2)選擇與所述結構層材料不同的另一種材料，在所述結構層的側面進行側墻沉 積，各向異性刻蝕后在所述結構層的側面形成側墻； 3)在所述側墻側面以不同的材料重復步驟2)，經過多次沉積、刻蝕，在所述襯 底上形成所述周期性納米結構器件。 【當前權利人】北京大學 【當前專利權人地址】北京市海淀區頤和園路5號北京大學 【專利權人類型】公立 【統一社會信用代碼】12100000400002259P 【被引證次數】4 【被自引次數】3.0 【被他引次數】1.0 【家族引證次數】4.0 【家族被引證次數】4
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