【摘要】雙口式多功能旋轉蒸發器，具有控溫加熱槽、旋 轉蒸發瓶、旋轉驅動器和支架，其特征是，雙口式旋轉蒸發瓶 (3)兩端的頸部具有同一軸心，蒸發瓶(2)的軸心線與水平面之間 形成20°～70°的夾角。蒸發瓶(2)的內部具有攪拌槳(7)，其 槳
【摘要】 本發明涉及微電子領域。本發明公開的一種刻蝕 機集群控制器與工藝模塊控制器通訊系統及方法，包括：集群 控制器、工藝模塊控制器，連接集群控制器與工藝模塊控制器 的以太網，還包括通訊模塊，該通訊模塊通過以太網將控制信 息和狀態信息在集群控制器與工藝模塊控制器之間傳輸。方 法：1)準備工作步驟；2)網絡測試連接工作步驟；3)具體通信 工作步驟：即進入正常運行狀態后，集群控制器通過Web服 務器與工藝模塊控制器進行信息和指令的交互。 【專利類型】發明申請 【申請人】北京北方微電子基地設備工藝研究中心有限責任公司; 清華大學 【申請人類型】企業,學校 【申請人地址】100016北京市朝陽區酒仙橋東路1號 【申請人地區】中國 【申請人城市】北京市 【申請人區縣】朝陽區 【申請號】CN200610011316.6 【申請日】2006-02-09 【申請年份】2006 【公開公告號】CN1937505A 【公開公告日】2007-03-28 【公開公告年份】2007 【授權公告號】CN100429887C 【授權公告日】2008-10-29 【授權公告年份】2008.0 【發明人】徐華; 丁力; 賈培發; 王家廞; 趙雁南 【主權項內容】1、一種刻蝕機集群控制器與工藝模塊控制器通訊系統，包括集 群控制器、工藝模塊控制器，連接集群控制器與工藝模塊控制器的以 太網，其特征在于還包括通訊模塊，該通訊模塊通過以太網將控制信 息和狀態信息在集群控制器與工藝模塊控制器之間傳輸。 【當前權利人】北京北方華創微電子裝備有限公司; 清華大學 【當前專利權人地址】北京市大興區經濟技術開發區文昌大道8號; 北京市海淀區清華園 【專利權人類型】有限責任公司; 公立 【統一社會信用代碼】91110302801786752A; 12100000400000624D 【被引證次數】4 【被自引次數】1.0 【家族被引證次數】4
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