【摘要】本實用新型公開了一種離子注入機晶圓定位控 制系統,由晶圓、電機、光源、傳感器、反饋電路、編碼盤和 平臺組成,其中平臺與電機通過傳動軸連接,電機的下面連接 一編碼盤,編碼盤獲取電機運行的各個數據,晶圓置于平臺上, 并隨平臺一起轉動,光
【專利類型】外觀設計 【申請人】鄭海玲 【申請人類型】個人 【申請人地址】100012北京市朝陽區北苑家園清友園3號樓2403室 【申請人地區】中國 【申請人城市】北京市 【申請人區縣】朝陽區 【申請號】CN200630138245.7 【申請日】2006-10-20 【申請年份】2006 【公開公告號】CN3681631D 【公開公告日】2007-08-22 【公開公告年份】2007 【授權公告號】CN3681631D 【授權公告日】2007-08-22 【授權公告年份】2007.0 【發明人】鄭海玲 【主權項內容】無 【當前權利人】鄭海玲 【當前專利權人地址】北京市朝陽區北苑家園清友園3號樓2403室
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