【摘要】本發(fā)明公開了一種兩階段混合指紋特征匹配方法。該指紋特征匹配方法將細節(jié)特征匹配方法與三角匹配方法進行有機結(jié)合，以細節(jié)特征匹配方法的輸出結(jié)果為參考，將其它未匹配的細節(jié)點以此參考為基準進行三角匹配檢測。從而在保證系統(tǒng)實時性和較小的指紋特征
【摘要】 一種聲表面波器件的制備方法，其工藝步驟如下：1.在壓電基片上旋涂壓印膠；2、制備聲表面波器件壓模并對其表面進行防粘連處理；3.將帶有聲表面波器件電極圖形的壓模壓入壓印膠中，通過加熱、加壓或紫外光輻照固化等壓印方式得到電極的膠圖形；4.分離壓模和基片；5.利用氧等離子干法刻蝕殘膠，直到露出基片；6.濺射或蒸發(fā)電極材料；7.剝離得到電極圖形，完成聲表面波器件的制備。 微信 【專利類型】發(fā)明申請 【申請人】中國科學(xué)院微電子研究所 【申請人類型】科研單位 【申請人地址】100029北京市朝陽區(qū)北土城西路3號 【申請人地區(qū)】中國 【申請人城市】北京市 【申請人區(qū)縣】朝陽區(qū) 【申請?zhí)枴緾N200610003586.2 【申請日】2006-02-15 【申請年份】2006 【公開公告號】CN101022270A 【公開公告日】2007-08-22 【公開公告年份】2007 【IPC分類號】H03H3/08; H03H3/00 【發(fā)明人】王叢舜; 牛潔斌; 涂德鈺; 謝常青; 陳寶欽; 劉明 【主權(quán)項內(nèi)容】1、一種聲表面波器件制備方法，是由一次壓印、一次淀積和一次剝 離來獲得聲表面波器件；其特征在于，其步驟如下： 步驟1、在壓電基片上旋涂壓印膠； 步驟2、制備聲表面波器件壓模并對其表面進行防粘連處理； 步驟3、將帶有聲表面波器件電極圖形的壓模壓入壓印膠中，進行 壓印，得到電極的膠圖形； 步驟4、分離壓模和基片； 步驟5、利用氧等離子干法刻蝕殘膠，直到露出基片； 步驟6、在基片上蒸發(fā)或濺射電極材料； 步驟7、剝離，在基片上得到電極圖形，完成器件的制作。 【當前權(quán)利人】中國科學(xué)院微電子研究所 【當前專利權(quán)人地址】北京市朝陽區(qū)北土城西路3號 【統(tǒng)一社會信用代碼】12100000400834434U 【被引證次數(shù)】1 【被他引次數(shù)】1.0 【家族被引證次數(shù)】1
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