【摘要】本發明公開了加工基于無機駐極體的MEMS微 發電機的方法。本發明加工方法，包括如下步驟：1)在無機襯 底表面光刻、濺射金屬電極，剝離得到下金屬電極；2)在無機 襯底表面沉積無機駐極體薄膜，經光刻腐蝕形成駐極體圖形； 3)在硅襯底上表
【摘要】 本實用新型公開了一種硅材料微波加熱提純裝置，鋼制雙層水冷爐殼內壁鋪墊有絕熱材料層，在所述的鋼制雙層水冷爐殼內設有可水平轉動和上下移動并鋪墊有帶格子絕熱層的托盤，在所述的托盤的格子絕熱層上放置坩堝，在所述的鋼制雙層水冷爐殼內中部設有鋪墊有絕熱層的隔板，下部設有可上下移動且形狀與所述的托盤對應的結晶冷卻裝置，上部設有與熔化所述的坩堝中盛裝的待提純硅材料量對應的輸出功率連續可調的至少一個單管微波源加熱裝置。本實用新型是一種設備結構簡單，容易控制加熱慣性和加熱均勻性，能在同一裝置中有效實現硅熔化、實施去雜加工和定向凝固且環境雜質影響小、能源利用率高、工藝周期短的硅材料微波加熱提純裝置。 【專利類型】實用新型 【申請人】郭輝; 黃建明 【申請人類型】個人 【申請人地址】102208北京市昌平區回龍觀流星花園2區5棟7門202室 【申請人地區】中國 【申請人城市】北京市 【申請人區縣】昌平區 【申請號】CN200620052879.5 【申請日】2006-11-20 【申請年份】2006 【公開公告號】CN200971318Y 【公開公告日】2007-11-07 【公開公告年份】2007 【授權公告號】CN200971318Y 【授權公告日】2007-11-07 【授權公告年份】2007.0 【IPC分類號】C01B33/037; C01B33/00 【發明人】郭輝; 黃建明 【主權項內容】1、一種硅材料微波加熱提純裝置，其特征在于：鋼制雙層水冷 爐殼內壁鋪墊有絕熱材料層，在所述的鋼制雙層水冷爐殼內設有可水 平轉動和上下移動并鋪墊有帶格子絕熱層的托盤，在所述的托盤的格 子絕熱層上放置坩堝，在所述的鋼制雙層水冷爐殼內中部設有鋪墊有 絕熱層的隔板，下部設有可上下移動且形狀與所述的托盤對應的結晶 冷卻裝置，上部設有與熔化所述的坩堝中盛裝的待提純硅材料量對應 的輸出功率連續可調的至少一個單管微波源加熱裝置。 【當前權利人】郭輝; 黃建明 【當前專利權人地址】北京市昌平區回龍觀流星花園2區5棟7門202室; 【引證次數】2.0 【被引證次數】12 【他引次數】2.0 【被他引次數】12.0 【家族引證次數】2.0 【家族被引證次數】12
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