【摘要】扭擺式硅MEMS角加速度傳感器由敏感元件、電容式變換器、反饋靜電力矩器、信號處理電路以及殼體組成，殼體包括真空封裝和基座，敏感元件包括兩個固連在基座上的錨點、一個活動極板、兩個兩端分別固連在錨點和活動極板上的撓性支撐梁和兩個對稱分布
【專利類型】外觀設(shè)計 【申請人】北京突破電氣有限公司 【申請人類型】企業(yè) 【申請人地址】100070北京市豐臺區(qū)海鷹路1號 【申請人地區(qū)】中國 【申請人城市】北京市 【申請人區(qū)縣】豐臺區(qū) 【申請?zhí)枴緾N200630189816.X 【申請日】2006-11-28 【申請年份】2006 【公開公告號】CN300689543D 【公開公告日】2007-09-12 【公開公告年份】2007 【授權(quán)公告號】CN300689543D 【授權(quán)公告日】2007-09-12 【授權(quán)公告年份】2007.0 【發(fā)明人】都紅 【主權(quán)項內(nèi)容】無 【當(dāng)前權(quán)利人】北京突破; 東方電氣設(shè)備有限公司 【專利權(quán)人類型】有限責(zé)任公司(自然人投資或控股) 【統(tǒng)一社會信用代碼】911101081019036712
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