【摘要】左視圖與右視圖對稱，省略左視圖。【專利類型】外觀設計【申請人】北京握奇數據系統有限公司【申請人類型】企業【申請人地址】100015北京市朝陽區東直門外西八間房萬紅西街2號燕東商務花園【申請人地區】中國【申請人城市】北京市【申請人區縣
【摘要】 本實用新型公開了一種智能化光學薄膜全自動監控系統，包括：光源發射系統、聚光鏡、小孔光闌、監控片、反射鏡、光譜儀和晶控儀，監控片設置在真空室內，光源發射系統引出兩路光信號，一路直接導入一單色儀，另一路依次通過聚光鏡、小孔光闌和反射鏡后入射到真空室內，并在監控片上形成光斑，由一光接收系統接收后，再分別導入單色儀和寬光譜儀。本實用新型把單波長光學監控法、晶控法、寬光譜光學監控法的監控裝置復合在一起，協調工作，在鍍膜的過程中實時地提供薄膜的多方位信息，實時地修正后續膜層參數及制備條件，用于實時地、全自動地修正膜層誤差的影響。。微信 【專利類型】實用新型 【申請人】北京奧博泰科技有限公司; 賈秋平; 張喆民 【申請人類型】企業,個人 【申請人地址】100070北京市豐臺科技園區航豐路8號科研樓329室(園區) 【申請人地區】中國 【申請人城市】北京市 【申請人區縣】豐臺區 【申請號】CN200620113727.1 【申請日】2006-05-09 【申請年份】2006 【公開公告號】CN2911757Y 【公開公告日】2007-06-13 【公開公告年份】2007 【授權公告號】CN2911757Y 【授權公告日】2007-06-13 【授權公告年份】2007.0 【IPC分類號】G05D5/03; C23C14/54; C23C16/52; G05D5/00 【發明人】賈秋平; 張喆民; 盧維強 【主權項內容】1、一種智能化光學薄膜全自動監控系統，其特征在于，包括：光源 發射系統、聚光鏡、小孔光闌、反射鏡、監控片、光譜儀和晶控儀，監 控片設置在真空室內，所述光源發射系統引出兩路光信號，一路直接導 入一單色儀，另一路依次通過所述聚光鏡、小孔光闌和反射鏡后入射到 所述真空室內，并在所述監控片上形成光斑，由一光接收系統接收后， 再分別導入所述單色儀和寬光譜儀；由所述單色儀出來的光經過一A/D 模數采集卡轉換后，由一單片機進行初步處理，并通過一網絡交換系統 傳輸到一設置有數據處理軟件的PC機上；所述晶控儀將幾何厚度、沉積 速率等信息通過所述網絡交換系統傳輸到所述PC機上；所述寬光譜儀接 收的信號傳給所述PC機。 【當前權利人】北京奧博泰科技有限公司; 賈秋平; 張喆民 【當前專利權人地址】北京市豐臺科技園區航豐路8號科研樓329室(園區); ; 【專利權人類型】有限責任公司(自然人投資或控股) 【統一社會信用代碼】91110106775475685M 【被引證次數】10 【被他引次數】10.0 【家族被引證次數】10
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