【摘要】一種中間放汽閥發動機水箱不銹鋼撓性管，涉及一種管道上的中間放汽閥發動機水箱不銹鋼撓性管裝置。至少包括波紋管，其特征是放汽閥機械密封連接在發動機進水殼體上，波紋管機械密封連接在伸縮節外，波紋管機械密封連接在波紋管外網內，波紋管機械密封
【摘要】 本實用新型涉及一種硅片轉移裝置，其特征在于，可上下移動的托盤與托盤升降伺服機構連接，硅片疊層設于托盤上，至少一對硅片高度位置探測信號發送器、硅片高度位置探測信號接收器分別設于硅片疊層兩邊的同一水平線上，使得硅片疊層最上面的硅片的起始高度低于硅片高度位置探測信號發送器、硅片高度位置探測信號接收器的高度，硅片高度位置探測信號發送器、硅片高度位置探測信號接收器分別與高度位置信號處理機構連接，至少一對噴射氣流控制頭對稱設于最上面硅片和下面一片硅片的界面上，并高于一對硅片高度位置探測信號發送器、硅片高度位置探測信號接收器的位置，吸爪設于硅片疊層的上端。本實用新型的優點是能提高生產效率，減少硅片破碎。 【專利類型】實用新型 【申請人】上海交大泰陽綠色能源有限公司 【申請人類型】企業 【申請人地址】200240上海市閔行區劍川路951號滄源工業園內 【申請人地區】中國 【申請人城市】上海市 【申請人區縣】閔行區 【申請號】CN200620048326.2 【申請日】2006-11-30 【申請年份】2006 【公開公告號】CN200979877Y 【公開公告日】2007-11-21 【公開公告年份】2007 【授權公告號】CN200979877Y 【授權公告日】2007-11-21 【授權公告年份】2007.0 【IPC分類號】H01L21/677; B65G49/07; H01L21/67 【發明人】郭里輝 【主權項內容】1.一種硅片轉移裝置，其特征在于，由托盤(01)、硅片疊層(03)、噴射氣流 控制頭(04、05)、硅片高度位置探測信號發送器(08)、硅片高度位置探測 信號接收器(09)和吸爪(11)、高度位置信號處理機構(12)和托盤升降伺 服機構(13)組成，可上下移動的托盤(01)與托盤升降伺服機構(13)連 接，硅片疊層(03)設于托盤(01)上，至少一對硅片高度位置探測信號發 送器(8)、硅片高度位置探測信號接收器(9)分別設于硅片疊層(3)兩邊 的同一水平線上，使得硅片疊層(03)最上面的硅片(02)的起始高度低于 硅片高度位置探測信號發送器(08)、硅片高度位置探測信號接收器(09)的 高度，硅片高度位置探測信號接收器(09)與高度位置信號處理機構(12) 連接，至少一對噴射氣流控制頭(04、05)對稱設于最上面硅片02和下面一 片硅片的界面上，并高于一對硅片高度位置探測信號發送器(08)、硅片高度 位置探測信號接收器(09)的位置，吸爪(11)設于硅片疊層(03)的上端。 （來自 馬克數據網） 【當前權利人】上海交大泰陽綠色能源有限公司 【當前專利權人地址】上海市閔行區劍川路951號滄源工業園內 【被引證次數】11 【被他引次數】11.0 【家族被引證次數】11
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