【摘要】本發明公開了一種式I所示的阿奇霉素衍生物及其藥學上可接受的鹽式IR為－R1或－A－R1；A為C1－5亞烷基、C2－5亞烯基、C2－5亞炔基、C3－6亞環烷基、含1～2個選自N、O和S雜原子的3～6元的亞雜環基或C6－10亞芳基；R1
【摘要】 本發明涉及微機械紅外熱電堆探測器結構及其 制作方法，其特征在于作為紅外吸收層的懸浮膜結構具有多種 形狀的腐蝕開口，使用各向同性的干法刻蝕從正面腐蝕襯底形 成懸浮膜結構釋放器件。探測器的襯底和懸浮于框架中間的紅 外吸收層分別構成熱電堆的冷結區和熱結區，支撐臂連接框架 和紅外吸收區并承載熱電堆；中間懸浮的紅外吸收層帶有不同 形狀的腐蝕開口，作為干法刻蝕工作氣體進入襯底進行反應的 通道。采用了標準CMOS工藝中最常見的材料，便于實現和信 號處理電路的集成。使用了選擇性很好的干法刻蝕形成紅外吸 收層，相比傳統的濕法腐蝕不僅簡化了工藝流程，降低了對光 刻機的要求；同時不需考慮對其它材料的破壞，拓寬了探測器 可用材料的范圍。 更多數據：www.macrodatas.cn 【專利類型】發明申請 【申請人】中國科學院上海微系統與信息技術研究所 【申請人類型】科研單位 【申請人地址】200050上海市長寧區長寧路865號 【申請人地區】中國 【申請人城市】上海市 【申請人區縣】長寧區 【申請號】CN200610118474.1 【申請日】2006-11-17 【申請年份】2006 【公開公告號】CN1960017A 【公開公告日】2007-05-09 【公開公告年份】2007 【授權公告號】CN100440561C 【授權公告日】2008-12-03 【授權公告年份】2008.0 【IPC分類號】H01L35/32; H01L35/34; G01J1/42; G01J5/12; H01L35/00 【發明人】熊斌; 楊恒昭; 李鐵; 王翊; 王躍林 【主權項內容】1、微機械熱電紅外探測器，其特征在于所述探測器是由襯底、框架、 熱電堆、支撐臂、紅外吸收層和腐蝕開口六部分構成；襯底和懸浮于框架中 間的紅外吸收層分別構成熱電堆的冷結區和熱結區，支撐臂連接框架和紅外 吸收區并承載熱電堆；中間懸浮的紅外吸收層帶有不同形狀的腐蝕開口，作 為干法刻蝕工作氣體進入襯底進行反應的通道。 來源：馬 克 數 據 網 【當前權利人】中國科學院上海微系統與信息技術研究所 【當前專利權人地址】上海市長寧區長寧路865號 【統一社會信用代碼】12100000425006790C 【被引證次數】27 【被自引次數】1.0 【被他引次數】26.0 【家族引證次數】4.0 【家族被引證次數】27
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