【專利類型】外觀設(shè)計【申請人】上海頂新箱包有限公司【申請人類型】企業(yè)【申請人地址】201500上海市金山區(qū)朱涇鎮(zhèn)亭楓公路3168號【申請人地區(qū)】中國【申請人城市】上海市【申請人區(qū)縣】金山區(qū)【申請?zhí)枴緾N200630041495.9【申請日】
【摘要】 本發(fā)明公開了一種晶片檢測方法，包括：利用AVI工具中的光學(xué)處理單元獲取晶片光學(xué)圖像；并對晶片光學(xué)圖像進(jìn)行灰度計算及分區(qū)；選定分區(qū)標(biāo)準(zhǔn)芯片；最后，將不 同分區(qū)內(nèi)的其它芯片同標(biāo)準(zhǔn)芯片進(jìn)行灰度值對比，檢測出缺陷芯片。所述分區(qū)的具體方式根據(jù)產(chǎn)品狀況及工藝條件確定；所述分區(qū)可為晶片光學(xué)圖像內(nèi)的任意區(qū)域；所述分區(qū)內(nèi)標(biāo)準(zhǔn)芯片為晶片上實際存在的芯片或經(jīng)由AVI工具虛擬得到的芯片模型；進(jìn)行所述灰度值對比之前，需預(yù)先設(shè)定對比判別標(biāo)準(zhǔn)；所述對比判別標(biāo)準(zhǔn)由具體的產(chǎn)品要求及工藝條件確定。 數(shù)據(jù)由馬 克 團(tuán) 隊整理 【專利類型】發(fā)明申請 【申請人】中芯國際集成電路制造(上海)有限公司 【申請人類型】企業(yè) 【申請人地址】201203上海市浦東新區(qū)張江路18號 【申請人地區(qū)】中國 【申請人城市】上海市 【申請人區(qū)縣】浦東新區(qū) 【申請?zhí)枴緾N200610027587.0 【申請日】2006-06-12 【申請年份】2006 【公開公告號】CN101090083A 【公開公告日】2007-12-19 【公開公告年份】2007 【授權(quán)公告號】CN100499057C 【授權(quán)公告日】2009-06-10 【授權(quán)公告年份】2009.0 【IPC分類號】H01L21/66; G01N21/95; G01R31/00 【發(fā)明人】左仲; 王明珠; 呂秋玲; 趙慶國 【主權(quán)項內(nèi)容】1.一種晶片檢測方法，其特征在于，包括： a.利用自動目檢(AVI)工具中的光學(xué)處理單元獲取晶片光學(xué)圖像； b.對晶片光學(xué)圖像進(jìn)行灰度計算及分區(qū)； c.確定各分區(qū)內(nèi)的標(biāo)準(zhǔn)芯片； d.將不同分區(qū)內(nèi)的其它芯片同標(biāo)準(zhǔn)芯片進(jìn)行灰度值對比，檢測出缺陷芯 片。 【當(dāng)前權(quán)利人】中芯國際集成電路制造(上海)有限公司; 中芯國際集成電路制造(北京)有限公司 【當(dāng)前專利權(quán)人地址】上海市浦東新區(qū)張江路18號; 北京市大興區(qū)經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)文昌大道18號 【專利權(quán)人類型】有限責(zé)任公司(外國法人獨資) 【統(tǒng)一社會信用代碼】91310115710939629R 【引證次數(shù)】2.0 【被引證次數(shù)】46 【他引次數(shù)】2.0 【被自引次數(shù)】5.0 【被他引次數(shù)】41.0 【家族引證次數(shù)】6.0 【家族被引證次數(shù)】46
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