【摘要】本發(fā)明公開了一種控制離子注入的方法和裝置，該裝置包括產(chǎn)生束流裝置、晶片、法拉第杯、晶片驅(qū)動(dòng)器、控制器、真空系統(tǒng)裝置、真空腔體，其中產(chǎn)生束流裝置產(chǎn)生一個(gè)直線束流；該束流垂直注入到晶片當(dāng)中；法拉第杯檢測(cè)束流值，輸出一個(gè)反映束流大小的信號(hào)
【摘要】 本實(shí)用新型屬于物理實(shí)驗(yàn)儀。左右兩個(gè)主尺固 定在可沿支架上下移動(dòng)的兩個(gè)橫梁上，主尺與橫梁垂 直，左右兩個(gè)游標(biāo)用螺釘固定的游標(biāo)載體上，可沿主 尺邊緣上下移動(dòng)。此實(shí)驗(yàn)儀的優(yōu)點(diǎn)是提高了位移測(cè) 量精度，儀器誤差不大于0.01毫米，減少隨機(jī)誤差， 測(cè)量范圍較大，減少調(diào)節(jié)和計(jì)算步驟，降低成本，具有 多功能并易于實(shí)施。 【專利類型】實(shí)用新型 【申請(qǐng)人】唐山工程技術(shù)學(xué)院 【申請(qǐng)人類型】學(xué)校 【申請(qǐng)人地址】063009河北省唐山市新華西道 【申請(qǐng)人地區(qū)】中國(guó) 【申請(qǐng)人城市】唐山市 【申請(qǐng)?zhí)枴緾N91204587.6 【申請(qǐng)日】1991-03-28 【申請(qǐng)年份】1991 【公開公告號(hào)】CN2090562U 【公開公告日】1991-12-11 【公開公告年份】1991 【授權(quán)公告號(hào)】CN2090562U 【授權(quán)公告日】1991-12-11 【授權(quán)公告年份】1991.0 【IPC分類號(hào)】G09B23/10; G09B23/00 【發(fā)明人】宋慶功 【主權(quán)項(xiàng)內(nèi)容】1、一種多功能變力作功實(shí)驗(yàn)儀，它有支架(4、5)，上下橫梁(1、16)，待測(cè)物體(3)，卡具(2、6)，砝碼(15)和砝碼托(17)，其特征在于它還有左右兩個(gè)主尺(8、9)，左右兩個(gè)游標(biāo)(10、11)，游標(biāo)載體(12)，橫梁(7、13)，連桿(14)，位移測(cè)量裝置在儀器的中部，左右兩個(gè)主尺(8、9)，它們固定在可沿支架(4、5)上下移動(dòng)的兩個(gè)橫梁(7)和(13)上，主尺與橫梁垂直，左右兩個(gè)游標(biāo)用螺釘固定在游標(biāo)載體(12)上，游標(biāo)可沿主尺邊緣上下移動(dòng)，工作時(shí)，整個(gè)位移測(cè)量裝置可用螺釘固定需要的高度，游標(biāo)載體上端通過(guò)卡具(6)與待測(cè)物體(3)的下端固定的一起，游標(biāo)載體下端通過(guò)連桿(14)連接砝碼托(17)，待測(cè)物體上端通過(guò)卡具(2)固定在橫梁(1)上。 【當(dāng)前權(quán)利人】唐山工程技術(shù)學(xué)院 【當(dāng)前專利權(quán)人地址】河北省唐山市新華西道
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