【摘要】本發明涉及光纖通訊和微細加工技術領域，特別是一種光開關的設計及制作工藝。a.用LPCVD低壓化學氣象淀積在雙面拋光的硅片上雙面淀積低應力氮化硅厚度；b.正面光刻氮化硅懸臂梁圖形；c.RIE反應離子刻蝕形成氮化硅懸臂梁圖形；d.背面光
【摘要】 本實用新型公開了一種流體體積量電子自動計 量傳感裝置。在普通機械式流量表的一字輪(或轉 盤)上設置一金屬隔離膜，并用一形支架將一轉數 傳感器設置在該轉輪附近，隔離膜與轉輪同步轉動， 使轉數傳感器產生與轉數相應的電量脈沖，并傳輸給 遠處的中心計量設備。本實用新型特別適用于自來 水和燃氣的遠程自動計量。 【專利類型】實用新型 【申請人】四川省電子計算機應用研究中心 【申請人類型】科研單位 【申請人地址】610015四川省成都市人民南路四段十一號附一號 【申請人地區】中國 【申請人城市】成都市 【申請號】CN91214019.4 【申請日】1991-01-03 【申請年份】1991 【公開公告號】CN2085058U 【公開公告日】1991-09-18 【公開公告年份】1991 【授權公告號】CN2085058U 【授權公告日】1991-09-18 【授權公告年份】1991.0 【IPC分類號】G01F15/06 【發明人】謝根華; 白蘭斌 【主權項內容】1、用于流體流量遠程計量的傳感傳置，其特征在于，在機械式流體流量表的一轉輪(1)上敷設一小塊金屬隔離膜(2)，并將由傳感頭和產生連續振蕩的振蕩器(3)組成的轉數傳感器設置在轉輪(1)附近；傳感頭由兩個互感線圈(4，4′)組成，通過支架(5)將兩線圈(4，4′)分置于輪盤(1)兩側并與盤面保持一較小的間隙(6)，兩線圈的共軸線(7)垂直于輪盤表面。 【當前權利人】四川省電子計算機應用研究中心 【當前專利權人地址】四川省成都市人民南路四段十一號附一號
未經允許不得轉載：http://m.mhvdw.cn/1775218662.html
喜歡就贊一下
