【摘要】省略其它視圖。 第一組 第二組 第三組 第四組 第五組 成套立體圖【專利類型】外觀設計【申請人】JMP紐柯有限公司【申請人類型】企業【申請人地址】香港九龍九龍灣【申請人地區】中國【申請人城市】香港特別行政區【申請號】CN903034
【摘要】 本實用新型涉及一種半導體器件生產的專用設 備。該設備分為局部凈化室和電氣控制柜兩大部分， 其中局部凈化室包括光化學反應室，循環凈化系統， 升降傳動機構，光源電源箱。電氣控制柜包括 MIC-100型微機，溫控儀，質量流量控制器，浮子流 量計，氣路顯示板，增壓泵機組，高效過濾器，高效粒 子撲集器，混合器，冷阱，防腐真空電磁閥，氣體管路 及總電源等部分。具有淀積溫度低，沒有高能離子撞 擊損傷，淀積面積大，操作簡單，微機程序控制，節約 能源等優點。 馬-克-數據 【專利類型】實用新型 【申請人】西安電子科技大學 【申請人類型】學校 【申請人地址】710071陜西省西安市太白路2號 【申請人地區】中國 【申請人城市】西安市 【申請人區縣】碑林區 【申請號】CN90203160.0 【申請日】1990-03-17 【申請年份】1990 【公開公告號】CN2070037U 【公開公告日】1991-01-23 【公開公告年份】1991 【授權公告號】CN2070037U 【授權公告日】1991-01-23 【授權公告年份】1991.0 【IPC分類號】H01L21/324; H01L21/205; C23C16/00 【發明人】孫建成 【主權項內容】1、一種光化學氣相淀積(光CVD)設備，由凈化室和電氣控制柜兩部分組成，其特征在于凈化室包括光反應室，循環凈化系統，升降傳動機構和光源電源箱；電氣控制柜包括微型計算機，溫控儀，質量流量控制器，浮子流量計，氣路顯示板，增壓泵機組，高效過濾器，高效粒子撲集器，混合器，冷阱，防腐真空電磁閥，氣體管路及總電源箱。 【當前權利人】西安電子科技大學 【當前專利權人地址】陜西省西安市太白路2號 【統一社會信用代碼】121000004352307294 【被引證次數】6.0 【被他引次數】6.0 【家族被引證次數】6.0
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