【摘要】一種毛巾織機用織格定長控制機,是由踏盤軸 1,凸輪2、拐桿3、連桿4、擺桿5、撐頭6、拉鉤7、正鋸 齒輪8、鏈條9、13,小控制桿11、副鋸齒輪12、鏈條 10、14,大控制桿15、擺臂16、定位盤17及定位簧片 18組成。本裝置通
【摘要】 一種真空多區(qū)磁控陰極濺射頭,它包含有框、靶 材,磁場密封盒帽蓋,磁場組合體等主要元件。其中, 框的內(nèi)緣,留有凹槽,以套合靶材后,以螺絲固定于磁 場密封盒帽蓋上,而其固定螺絲孔,制成向外開口的 雙凹馬蹄型螺絲槽,以方便于拆換靶材時的螺孔定位 吊掛??蓪R射頭內(nèi)的磁場,排列組合成多區(qū)域,使 其有更多的濺射面積,以充分利用靶材,達到提高效 益的目的。 【專利類型】實用新型 【申請人】黃恬靜 【申請人類型】個人 【申請人地址】臺灣省 【申請人地區(qū)】中國 【申請人城市】臺灣省 【申請?zhí)枴緾N90209634.6 【申請日】1990-06-29 【申請年份】1990 【公開公告號】CN2077869U 【公開公告日】1991-05-29 【公開公告年份】1991 【授權(quán)公告號】CN2077869U 【授權(quán)公告日】1991-05-29 【授權(quán)公告年份】1991.0 【IPC分類號】C23C14/35 【發(fā)明人】黃恬靜 【主權(quán)項內(nèi)容】1、一種真空多區(qū)磁控陰極濺射頭,其特征在于:將濺射頭的磁場排列組合成多個區(qū)域,使用時可增加其區(qū)域面積,改善其濺射面積,提高靶材使用率至40-45%。。來自:馬 克 團 隊 【當前權(quán)利人】黃恬靜 【當前專利權(quán)人地址】臺灣省 【被引證次數(shù)】3.0 【被他引次數(shù)】3.0 【家族被引證次數(shù)】3.0
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