【摘要】適用于鍋爐壓力容器檢驗(yàn)的鍋爐壓力容器檢測(cè) 尺，其特征在于，帶有滑尺的標(biāo)尺鉸接于兩規(guī)桿端部， 帶有探頭的探尺鉸接于帶有探尺腳的規(guī)桿上，該規(guī)桿 上連接一分度板。按分度板上刻線開啟規(guī)桿，擺動(dòng)標(biāo) 尺并抽動(dòng)滑尺，或開啟探尺，可以完成鍋爐壓力容
【摘要】 本發(fā)明公開了一種借助在稀薄氣體的兩個(gè)電極 間施加電壓產(chǎn)生輝光放電引發(fā)半導(dǎo)體摻雜的技術(shù)。 它能在實(shí)現(xiàn)高摻雜濃度的同時(shí)獲得對(duì)淺摻入層的有 效控制，并且具有摻雜均勻、損傷小等效果。該技術(shù) 設(shè)備簡(jiǎn)單，操作方便，成本低廉。 【專利類型】發(fā)明申請(qǐng) 【申請(qǐng)人】中國(guó)科學(xué)院微電子中心; 中國(guó)科學(xué)院半導(dǎo)體研究所 【申請(qǐng)人類型】其他,科研單位 【申請(qǐng)人地址】100010北京市650信箱 【申請(qǐng)人地區(qū)】中國(guó) 【申請(qǐng)人城市】北京市 【申請(qǐng)人區(qū)縣】東城區(qū) 【申請(qǐng)?zhí)枴緾N90102351.5 【申請(qǐng)日】1990-04-25 【申請(qǐng)年份】1990 【公開公告號(hào)】CN1056017A 【公開公告日】1991-11-06 【公開公告年份】1991 【IPC分類號(hào)】H01L21/225; C30B31/02; C30B31/00; H01L21/02 【發(fā)明人】李秀瓊; 王培大; 馬祥彬; 孫惠玲; 王純 【主權(quán)項(xiàng)內(nèi)容】1、一種半導(dǎo)體的摻雜技術(shù)，其特征在于，在不足一個(gè)大氣壓的稀薄氣體中設(shè)置兩個(gè)電極，將表面附著雜質(zhì)源的半導(dǎo)體置于其中的一個(gè)電極上，在兩個(gè)電極之間施加電壓使之產(chǎn)生輝光放電，通過(guò)調(diào)節(jié)輝光放電的電壓、電流與時(shí)間實(shí)現(xiàn)對(duì)摻入半導(dǎo)體內(nèi)雜質(zhì)濃度與深度的控制。 【當(dāng)前權(quán)利人】中國(guó)科學(xué)院微電子中心; 中國(guó)科學(xué)院半導(dǎo)體研究所 【當(dāng)前專利權(quán)人地址】北京市650信箱; 【統(tǒng)一社會(huì)信用代碼】12100000400012385U 【被引證次數(shù)】1.0 【被他引次數(shù)】1.0 【家族被引證次數(shù)】1.0
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