【摘要】高效浸潤(rùn)式省水除塵器，進(jìn)氣管穿過(guò)分氣柵并在 其下部安裝浸潤(rùn)傘，浸潤(rùn)傘伸入液面下，浴槽內(nèi)裝有 浮球式自動(dòng)補(bǔ)水器。本除塵器除塵效率高，對(duì)疏水性 和親水性粉塵均有很好的除塵效果，并有省水、不易 銹蝕風(fēng)機(jī)等優(yōu)點(diǎn)，本機(jī)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、造價(jià)低、易于制
【摘要】 一種對(duì)具有單層襯底結(jié)構(gòu)的高壓半導(dǎo)體硅管制造方法的改進(jìn)，通過(guò)背面摻雜等工藝，在襯底高阻層背面形成低阻薄層，有效地減小了接觸電阻，增加了功能，簡(jiǎn)化了工藝，減少了加工中的碎片率，制成一種具有低阻薄層襯底結(jié)構(gòu)的新型高壓半導(dǎo)體硅管。 【專(zhuān)利類(lèi)型】發(fā)明授權(quán) 【申請(qǐng)人】北京市半導(dǎo)體器件研究所 【申請(qǐng)人類(lèi)型】企業(yè) 【申請(qǐng)人地址】北京市昌平縣沙河鎮(zhèn) 【申請(qǐng)人地區(qū)】中國(guó) 【申請(qǐng)人城市】北京市 【申請(qǐng)人區(qū)縣】昌平區(qū) 【申請(qǐng)?zhí)枴緾N89103536.2 【申請(qǐng)日】1989-06-02 【申請(qǐng)年份】1989 【公開(kāi)公告號(hào)】CN1014570B 【公開(kāi)公告日】1991-10-30 【公開(kāi)公告年份】1991 【授權(quán)公告號(hào)】CN1014570B 【授權(quán)公告日】1991-10-30 【授權(quán)公告年份】1991.0 【IPC分類(lèi)號(hào)】H01L21/302; H01L21/265; H01L21/24; H01L21/324; H01L21/02 【發(fā)明人】李恩敏 【主權(quán)項(xiàng)內(nèi)容】1、一種高壓硅管的制作方法，該方法包括下列工藝步驟： a、制備高阻硅單晶片襯底； b、用常規(guī)工藝在所說(shuō)的高阻襯底上制造管芯； c、在高阻襯底制有管芯的一面--正面的管芯之間劃出片槽； d、用粘接劑將已制有管芯的單晶片與底襯托粘接在一起，形成復(fù)合 片； e、對(duì)復(fù)合片的高阻襯底未制作管芯的一面--背面進(jìn)行研磨、減??； f、摻雜。 其特征在于，在步驟d中，是將已制有管芯的單晶片劃出劃片槽的正 面與底托片粘接在一起，即步驟d是在步驟c之后進(jìn)行的；在步驟f中， 摻雜是對(duì)已被減薄的帶有管芯的高阻襯底的背面進(jìn)行的。 【當(dāng)前權(quán)利人】北京市半導(dǎo)體器件研究所 【當(dāng)前專(zhuān)利權(quán)人地址】北京市昌平縣沙河鎮(zhèn) 【專(zhuān)利權(quán)人類(lèi)型】全民所有制 【統(tǒng)一社會(huì)信用代碼】911101144006151941 【引證次數(shù)】3.0 【自引次數(shù)】3.0 【家族引證次數(shù)】3.0 【家族被引證次數(shù)】3.0
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