【摘要】本發明系利用我國特有的經濟森林，杜仲樹的樹膠型提取物為原料制備新型功能材料，它是根據這種樹膠的室溫變硬性及受熱可逆形變的特點，制備成一種新型的溫控材料，醫用夾板及假肢材料；根據多元應變恢復功能(拉伸恢復，壓縮恢復，彎曲(卷曲)
【摘要】 本發明公開了一種用于制造微電子產品的微區敷膜技術與裝置，它用微處理機控制涂敷筆在基片指定的部位按設計的圖形和尺寸描繪敷料形成涂敷膜層，這種敷膜技術與裝置具有操作簡便、成本低廉、膜層均勻等優點，此外還能滿足涂敷多品種膜層的需要。 【專利類型】發明授權 【申請人】中國科學院半導體研究所 【申請人類型】科研單位 【申請人地址】北京市海淀區清華東路 【申請人地區】中國 【申請人城市】北京市 【申請人區縣】海淀區 【申請號】CN88104273.0 【申請日】1988-07-14 【申請年份】1988 【公開公告號】CN1013328B 【公開公告日】1991-07-24 【公開公告年份】1991 【授權公告號】CN1013328B 【授權公告日】1991-07-24 【授權公告年份】1991.0 【IPC分類號】H01L21/31; G01N27/30; B05D7/00; B05C9/00; H01L21/02 【發明人】孫安納; 崔莉; 張智宏 【主權項內容】1.一種用于制造微電子產品的微區敷膜方法， 其特征在于它的步驟包括： ①將敷料灌入涂敷筆內， ②將涂敷筆固定在由電機帶動的升降臂上， ③將待敷膜的微電子產品基片固定在由兩個步 進馬達分別沿X與Y兩軸傳動平移的微動臺上， ④向微處理機輸入敷膜程序， ⑤由微處理機按照輸入程序通過驅動器啟動與 關閉各個步進馬達與電機，控制涂敷筆在基片上進 行敷膜。 【當前權利人】中國科學院半導體研究所 【當前專利權人地址】北京市海淀區清華東路 【統一社會信用代碼】12100000400012385U 【引證次數】1.0 【他引次數】1.0 【家族引證次數】1.0 【家族被引證次數】1.0
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