【摘要】本發明提供一種集成電路中的時鐘切換系統。一 個相位轉換器將一個輸入時鐘信號轉換成彼此具有不同相位 的一個時鐘A和一個時鐘B并輸出該時鐘A和時鐘B。一個 切換命令單元與相位轉換器連接，其接收時鐘A或時鐘B。時 鐘信號在輸出切換信號處于
【摘要】 本發明提供一種半導體元件及其形成方法。一種 互補型金屬氧化物半導體晶體管的補償間隙壁及其制造方法。 在基板上形成柵極電極，及在該柵極電極和基板上形成一補償 掩膜。該補償掩膜可為一氧化層且在注入時作為一掩膜，如口 袋注入和輕摻雜漏極注入。之后，在補償掩膜上靠近柵極電極 處形成一第二注入間隙壁，并以另一注入程序可形成深摻雜漏 極區。本發明所述的半導體元件及其形成方法，可減少沉積和 清洗的時間及成本，此外，補償掩膜的使用將更容易控制。 【專利類型】發明申請 【申請人】臺灣積體電路制造股份有限公司 【申請人類型】企業 【申請人地址】臺灣省新竹科學工業園區新竹市力行六路八號 【申請人地區】中國 【申請人城市】臺灣省 【申請號】CN200610007819.6 【申請日】2006-02-17 【申請年份】2006 【公開公告號】CN1913111A 【公開公告日】2007-02-14 【公開公告年份】2007 【IPC分類號】H01L21/336; H01L21/266; H01L29/78 【發明人】黃健朝 【主權項內容】1.一種形成半導體元件的方法，該形成半導體元件的方法包 括： 提供一基板； 在該基板上形成一柵極電極； 在該柵極電極上形成一補償掩膜，該補償掩膜與該基板互相 接觸；以及 在該柵極電極的基板兩側形成一源極/漏極區，該源極/漏極區 至少有一部分是利用離子注入透過該補償掩膜所形成的。 【當前權利人】臺灣積體電路制造股份有限公司 【當前專利權人地址】臺灣省新竹科學工業園區新竹市力行六路八號 【被引證次數】10 【被他引次數】10.0 【家族引證次數】13.0 【家族被引證次數】25
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