【摘要】本發明涉及一種具遮蔽裝置的光學式鼠標，操作于一工作平面上，該鼠標包括：殼體；電路板，其設于該殼體內；傳感器光源裝置，與該電路板電性連結；紅外線控制裝置，與該電路板電性連結；以及遮蔽件，其可移動地設于該殼體內，用以該殼體離開工作平面時
【摘要】 本發明提供一種顯影裝置及其顯影方法，該裝置 包括一平臺，用以支撐一基板，所述基板的表面具有一已曝光 的光刻膠層；一流體注入器，相對于所述基板移動，且在一第 一時間注入一顯影液至所述基板上以顯影所述已曝光的光刻 膠層，并在一第二時間注入一流體至所述基板上以清洗所述基 板。從而可預清洗預顯影的光刻膠，從而避免預顯影的光刻膠 過顯影及后顯影的光刻膠顯影不足的問題。經過上述的顯影裝 置顯影后，整片基板的臨界尺寸將趨于一致，并可大幅改善顯 影工藝的成品率。 【專利類型】發明申請 【申請人】友達光電股份有限公司 【申請人類型】企業 【申請人地址】中國臺灣新竹 【申請人地區】中國 【申請人城市】臺灣省 【申請號】CN200610138025.3 【申請日】2006-11-02 【申請年份】2006 【公開公告號】CN1949083A 【公開公告日】2007-04-18 【公開公告年份】2007 【IPC分類號】G03F7/30; G03F7/20; H01L21/027; H01L21/02 【發明人】王明山; 曾振助; 鄭雅夫; 林明輝 【主權項內容】1.一種顯影裝置，其特征在于，包括： 一平臺，用以支撐一基板，所述基板的表面具有一已曝光的光刻膠層； 一流體注入器，相對于所述基板移動，且在一第一時間注入一顯影液至所 述基板上以顯影所述已曝光的光刻膠層，并在一第二時間注入一流體至所述基 板上以清洗所述基板。 【當前權利人】友達光電股份有限公司 【當前專利權人地址】中國臺灣新竹 【被引證次數】4 【被他引次數】4.0 【家族被引證次數】4
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