【摘要】微信 一種碎紙機的刀片結構,由一對圓筒形滾刀所構 成,每一滾刀包含一多角形的軸桿,及數個套設于該軸桿上的 斷差刀片,兩圓筒形滾刀的斷差刀片以交錯的方式組裝,其中 每一斷差刀片是由二組副刀片所構成;每一個副刀片的整體厚 度較薄,該副刀
【摘要】 本發明提供一種形成金屬-絕緣層-金屬電容的方法,該方法包括下述步驟:在基底上形成電容下板與金屬內聯結構。之后,形成具有預定厚度的介電層,該介電層包含位于該電容下板上方的第一部分以及位于該金屬內聯結構上方的第二部分。接著,調整該介電層的第一部分與第二部分的相對厚度。調整該介電層的第一部分與第二部分相對厚度的方法包括:蝕刻該介電層的第一部分或添加介電材料至該介電層的第 二部分上。最后,在該介電層的第一部分上形成電容上板,以制作完成該金屬-絕緣層-金屬電容結構。本發明的方法減少了額外的光罩步驟,并且簡單、成本降低。 【專利類型】發明申請 【申請人】臺灣積體電路制造股份有限公司 【申請人類型】企業 【申請人地址】中國臺灣新竹市 【申請人地區】中國 【申請人城市】臺灣省 【申請號】CN200610105784.X 【申請日】2006-07-25 【申請年份】2006 【公開公告號】CN101030552A 【公開公告日】2007-09-05 【公開公告年份】2007 【授權公告號】CN100477166C 【授權公告日】2009-04-08 【授權公告年份】2009.0 【發明人】洪顯仁; 侯國南; 賴峰良 【主權項內容】 。1.一種形成金屬-絕緣層-金屬電容的方法,該方法包括下述步驟: 在基底上形成電容下板與金屬內聯結構; 形成具有預定厚度的介電層,其包含位于該電容下板上方的第一部分以 及位于該金屬內聯結構上方的第二部分; 調整該介電層的第一部分與第二部分的相對厚度;以及 在該介電層的第一部分上形成電容上板。 【當前權利人】臺灣積體電路制造股份有限公司 【當前專利權人地址】中國臺灣新竹市 【被引證次數】TRUE 【家族被引證次數】TRUE
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