【摘要】將磷脂質(zhì)、中鏈脂肪酸甘油三酯、甘油、脂肪水解酶及磷脂水解酶依重量比例約為100∶1－80∶0－20∶0.1－15∶0.1－15來攪拌混合。然后在30－90℃下進(jìn)行去磷基反應(yīng)和酯交換反應(yīng)，接著進(jìn)行蒸餾純化步驟，以去除產(chǎn)物中的磷脂質(zhì)、甘
【摘要】 一種柵氧化層制備方法首先形成至少兩條溝槽于基板之中，這兩條溝槽之間形成主動(dòng)區(qū)域。之后，形成介電區(qū)塊于該溝槽之中，該介電區(qū)塊之上表面不對(duì)齊該基板之上表面。接著，進(jìn)行摻雜工藝，將含氮摻質(zhì)植入該主動(dòng)區(qū)域之基板中，該主動(dòng)區(qū)域中心處之基板內(nèi)的含氮摻質(zhì)濃度高于該主動(dòng)區(qū)域邊緣處。然后，進(jìn)行熱氧化工藝以形成柵氧化層于該主動(dòng)區(qū)域之基板的上表面。通過該含氮摻質(zhì)抑制熱氧化反應(yīng)速率，可避免該主動(dòng)區(qū)域邊緣處之柵氧化層厚度小于該主動(dòng)區(qū)域中心處之柵氧化層厚度的情形發(fā)生。 【專利類型】發(fā)明申請(qǐng) 【申請(qǐng)人】茂德科技股份有限公司 【申請(qǐng)人類型】企業(yè) 【申請(qǐng)人地址】臺(tái)灣省新竹市科學(xué)工業(yè)園區(qū)力行路十九號(hào)三樓 【申請(qǐng)人地區(qū)】中國 【申請(qǐng)人城市】臺(tái)灣省 【申請(qǐng)?zhí)枴緾N200610001049.4 【申請(qǐng)日】2006-01-17 【申請(qǐng)年份】2006 【公開公告號(hào)】CN101005030A 【公開公告日】2007-07-25 【公開公告年份】2007 【授權(quán)公告號(hào)】CN100431109C 【授權(quán)公告日】2008-11-05 【授權(quán)公告年份】2008.0 【IPC分類號(hào)】H01L21/316; H01L21/283; H01L21/336; H01L21/02 【發(fā)明人】陳中怡; 朱志勛; 周志文 【主權(quán)項(xiàng)內(nèi)容】1.一種柵氧化層之制備方法，其特征是包含下列步驟： 形成遮罩層于基板上，該遮罩層具有至少兩個(gè)開口； 形成兩條溝槽于這兩個(gè)開口下方之基板中，這兩條溝槽之間形成主動(dòng) 區(qū)域； 形成介電區(qū)塊于該溝槽中，該介電區(qū)塊之上表面不對(duì)齊該基板之上表 面； 進(jìn)行摻雜工藝，將含氮摻質(zhì)植入該主動(dòng)區(qū)域之基板中；以及 進(jìn)行熱氧化工藝以形成柵氧化層于該主動(dòng)區(qū)域之基板的上表面。 【當(dāng)前權(quán)利人】茂德科技股份有限公司 【當(dāng)前專利權(quán)人地址】臺(tái)灣省新竹市科學(xué)工業(yè)園區(qū)力行路十九號(hào)三樓 【被引證次數(shù)】5 【被他引次數(shù)】5.0 【家族引證次數(shù)】7.0 【家族被引證次數(shù)】5
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