【專利類型】外觀設計【申請人】左北辰【申請人類型】個人【申請人地址】中國臺灣臺北縣【申請人地區(qū)】中國【申請人城市】臺灣省【申請?zhí)枴緾N200630130381.1【申請日】2006-06-26【申請年份】2006【公開公告號】CN36545
【摘要】 本發(fā)明涉及一種光刻膠再生及其系統(tǒng)，利用低溫濃縮抽離回收光刻膠溶液中的清洗溶劑，使其固含量達到原生光刻膠固含量以上，再經過濾裝置除去回收光刻膠中的粒狀物后，并添加光刻膠稀釋劑以調整回收光刻膠的固含量及黏度使膜厚預測值接近原生光刻膠，以獲得可再利用的再生光刻膠。經本發(fā)明的方法濃縮過后的再生光刻膠揮發(fā)性降低，有助于改善其涂布于基板時四角偏厚的現(xiàn)象。 ： 【專利類型】發(fā)明申請 【申請人】財團法人工業(yè)技術研究院 【申請人類型】科研單位 【申請人地址】臺灣省新竹縣 【申請人地區(qū)】中國 【申請人城市】臺灣省 【申請?zhí)枴緾N200610065829.5 【申請日】2006-03-23 【申請年份】2006 【公開公告號】CN101042529A 【公開公告日】2007-09-26 【公開公告年份】2007 【授權公告號】CN101042529B 【授權公告日】2010-09-15 【授權公告年份】2010.0 【IPC分類號】G03F7/00 【發(fā)明人】賴慶智; 馮桂森; 黃緯苓; 楊炎勝; 朱志弘; 吳橞淂; 鄧純禎; 劉展睿; 陳銘恩; 陳志慧 【主權項內容】1.一種光刻膠再生方法，其特征在于，包含下列步驟： (a)以低溫濃縮抽離回收光刻膠溶液中的溶劑，使其固含量達到高于原生光 刻膠后即停止； (b)過濾去除所述低溫濃縮后的回收光刻膠中的粒狀物； (c)添加溶劑以調整回收光刻膠的固含量及黏度； (d)監(jiān)測所述調整后的回收光刻膠的固含量及黏度；及 (e)調整所述回收光刻膠固含量及黏度，使其于固定轉速下達成目標膜厚。 【當前權利人】財團法人工業(yè)技術研究院 【當前專利權人地址】中國臺灣新竹縣 【引證次數(shù)】3.0 【自引次數(shù)】1.0 【他引次數(shù)】2.0 【家族引證次數(shù)】6.0
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