【摘要】本實用新型是有關于一種拋網，包含有復數個網面，其中網面與網面之間是以機器車縫結構方式相連結。其中，機器車縫結構方式的連結車縫線是沿著相鄰網面的邊緣連續延伸。機器車縫結構方式的連結車縫線亦可是結合網面的邊緣。其另包含有一串繩，其是串過
【摘要】 本實用新型公開了一種半導體反應室元件固定裝置包括：圓形頂板，適于通入反應氣體至反應室內的半導體元件；三個支撐架，分別配置于所述圓形頂板外圍的三個支撐點，以固定所述圓形頂板；以及閘式閥，提供所述半導體元件進出所述反應室的出入口，其中所述支撐架的任一皆不配置于所述半導體元件進出于所述反應室的所述閘式閥的路徑上。該半導體反應室元件固定裝置通過將固定圓形頂板(Shower head)的支撐架從晶片進出反應室的路徑中移除，因此可以避免附著于支撐架上的微塵掉落，且由于支撐架以正三角形的三個頂點的方式配置，因此能夠平均地支撐圓形頂板，達到有效改善晶片上帶狀缺陷的目的。 【專利類型】實用新型 【申請人】力晶半導體股份有限公司 【申請人類型】企業 【申請人地址】中國臺灣新竹市 【申請人地區】中國 【申請人城市】臺灣省 【申請號】CN200620112587.6 【申請日】2006-04-26 【申請年份】2006 【公開公告號】CN2924787Y 【公開公告日】2007-07-18 【公開公告年份】2007 【授權公告號】CN2924787Y 【授權公告日】2007-07-18 【授權公告年份】2007.0 【IPC分類號】H01L21/00; H01L21/205; H01L21/285; H01L21/31; H01L21/3205; H01L21/67; C23C16/00; H01L21/02 【發明人】鄭意中; 呂思漢; 吳元勝; 王進明; 洪華駿 【主權項內容】1、一種半導體反應室元件固定裝置，包括： 圓形頂板，適于通入反應氣體至反應室內的半導體元件； 三個支撐架，分別配置于所述圓形頂板外圍的三個支撐點，以固定所述 圓形頂板；以及 閘式閥，提供所述半導體元件進出所述反應室的出入口， 其特征在于所述些支撐架的任一皆不配置于所述半導體元件進出于所 述反應室的所述閘式閥的路徑上。 【當前權利人】力晶半導體股份有限公司 【當前專利權人地址】中國臺灣新竹市 【被引證次數】2 【被他引次數】2.0 【家族被引證次數】2
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