【摘要】一種控制發光二極管閃爍的方法，是利用微處理器的一只一般目的的輸出輸入腳(GPIO)傳輸訊號，使傳輸訊號分別輸出高電位、輸出低電位、在高阻抗模式、在輸入模式等各種模式的組合，來達到控制發光二極管(LED)亮、滅、漸亮、漸滅等不同的閃爍
【摘要】 一種空心柱型電容器，至少是由襯底、空心柱型下電極、結構層、上電極和電容介質層所構成。而襯底中具有數個插塞，有數個空心柱型下電極就位于襯底上并與插塞電連接。而結構層是分別圍繞于各個空心柱型下電極的外圍，其中圍繞于兩相對空心柱型下電極的結構層互不接觸，而圍繞于兩相鄰空心柱型下電極的結構層則互相連接。此外，上電極分別覆蓋于各個空心柱型下電極，電容介質層則位于每個上電極與每個空心柱型下電極之間。因為結構層的關系，所以能夠改善整個空心柱型電容器的機械強度，并可增加電容器密度。 【專利類型】發明申請 【申請人】財團法人工業技術研究院 【申請人類型】科研單位 【申請人地址】臺灣省新竹縣竹東鎮中興路四段195號 【申請人地區】中國 【申請人城市】臺灣省 【申請號】CN200610001628.9 【申請日】2006-01-18 【申請年份】2006 【公開公告號】CN101005074A 【公開公告日】2007-07-25 【公開公告年份】2007 【授權公告號】CN100464422C 【授權公告日】2009-02-25 【授權公告年份】2009.0 【IPC分類號】H01L27/108; H01L27/102; H01L27/10; H01L27/00; H01L21/8242; H01L21/8222; H01L21/82; H01L21/02; H01L21/00; H01L21/70 【發明人】李亨元; 何青原; 李隆盛; 梁虔碩 【主權項內容】1.一種空心柱型電容器的制造方法，其特征是包括： 提供襯底，該襯底具有插塞； 于該襯底上依次形成第一介質層、結構層、第二介質層以及蝕刻 中止層； 于該第一介質層、該結構層、該第二介質層以及該蝕刻中止層中 形成孔洞，該孔洞暴露出該插塞； 于該襯底上形成導體層，覆蓋該蝕刻中止層與該孔洞的內表面； 移除該孔洞頂部的該導體層，以露出部分該第二介質層，其中保 留下來的該導體層就當作下電極； 各向同性蝕刻露出的部分該第二介質層，以于該孔洞頂部形成開 口； 移除該蝕刻中止層； 于該開口和該孔洞內填滿材料層； 移除該第二介質層； 以該材料層作為掩膜，各向異性蝕刻該結構層，并露出部分該第 一介質層； 移除該第一介質層，以完全露出該下電極； 于該下電極表面形成電容介質層；以及 于該電容介質層表面形成上電極。 【當前權利人】財團法人工業技術研究院 【當前專利權人地址】臺灣省新竹縣竹東鎮中興路四段195號 【被引證次數】7 【被他引次數】7.0 【家族引證次數】5.0 【家族被引證次數】7
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