【摘要】本實用新型是有關于一種連接器,用以與一相對的耦合連接器連接結合,該連接器包括:一包括一端子容室的絕緣本體、二個相間隔地自該絕緣本體向前平行延伸的彈性卡掣臂、一組裝于該絕緣本體的絕緣蓋體,以及復數個相間隔地設置于該端子容室內的連接器端
【摘要】 本發明是有關于一種浸潤式微影系統及其制程, 該浸潤式微影系統,其至少包含:一物鏡;一基材平臺,設置 于該物鏡之下;一液晶,至少部份地填充于該物鏡與該基材平 臺上的一基材間的一空間;以及一液晶控制器,具有一第一電 極和一第二電極,該第一電極和該第二電極是設置來在曝光制 程中控制該液晶。本發明中,液晶具有高折射率,并可借由適 當電壓或其他適當方法來達到最佳化的折射率與聚焦深度。 【專利類型】發明申請 【申請人】臺灣積體電路制造股份有限公司 【申請人類型】企業 【申請人地址】臺灣省新竹市新竹科學工業園區力行六路8號 【申請人地區】中國 【申請人城市】臺灣省 【申請號】CN200610080805.7 【申請日】2006-05-16 【申請年份】2006 【公開公告號】CN1952785A 【公開公告日】2007-04-25 【公開公告年份】2007 【授權公告號】CN100594431C 【授權公告日】2010-03-17 【授權公告年份】2010.0 【發明人】林進祥; 施仁杰 【主權項內容】1、一種浸潤式微影系統,其特征在于其至少包含: 一物鏡; 一基材平臺,設置于該物鏡之下; 一液晶,至少部份地填充于該物鏡與該基材平臺上的一基材間的一空 間;以及 一液晶控制器,具有一第一電極和一第二電極,該第一電極和該第二電 極是設置來控制該液晶。 【當前權利人】臺灣積體電路制造股份有限公司 【當前專利權人地址】臺灣省新竹市新竹科學工業園區力行六路8號 【被引證次數】6 【家族被引證次數】23
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