【摘要】數據由整理 本發明的影像檢測器陣列的基板具有至少三種影像檢測器,其中藍色濾光片靠近第一影像檢測器、綠色濾光片靠近第二影像檢測器、紅色濾光片靠近第三影像檢測器。上述陣列具有第一微透鏡對應第一影像檢測器及藍色濾光片、第二微透鏡對應第二影
【摘要】 一種存儲器結構、存儲器裝置及其制造方法。該方法包括,先提供一基底,其中在基底上形成有一介電層,接著,在介電層中形成一圖案,然后,在圖案中與介電層上形成非晶硅層,并將非晶硅層圖案化,其中至少保留非晶硅層在圖案上的部分以形成一電極。之后,在電極的側壁上形成一間隙壁。繼之,在電極的表面上與間隙壁的表面上形成一選擇性半球面晶粒層。 (,) 【專利類型】發明申請 【申請人】聯華電子股份有限公司 【申請人類型】企業 【申請人地址】中國臺灣新竹科學工業園區 【申請人地區】中國 【申請人城市】臺灣省 【申請號】CN200610131786.6 【申請日】2006-10-12 【申請年份】2006 【公開公告號】CN101005048A 【公開公告日】2007-07-25 【公開公告年份】2007 【IPC分類號】H01L21/8242; H01L21/82; H01L21/02; H01L27/108; H01L27/00 【發明人】楊明宗; 廖萬春; 李盛進; 陳筱玲; 李健豪; 徐士偉 【主權項內容】1.一種存儲器裝置的制造方法,至少包括: 提供基底,其中在該基底上形成有介電層; 在該介電層中形成圖案; 在該圖案中與該介電層上形成非晶硅層,并將該非晶硅層圖案化,其中 至少保留該非晶硅層在該圖案上的部分以形成電極; 在該電極的側壁上形成間隙壁;以及 在該電極的表面上與該間隙壁的表面上形成選擇性半球面晶粒層。 【當前權利人】聯華電子股份有限公司 【當前專利權人地址】中國臺灣新竹科學工業園區 【家族引證次數】3.0
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