【專利類型】外觀設(shè)計【申請人】賴銘曉【申請人類型】個人【申請人地址】中國臺灣彰化縣大村鄉(xiāng)貢旗村2巷8號【申請人地區(qū)】中國【申請人城市】臺灣省【申請?zhí)枴緾N200630014680.9【申請日】2006-04-30【申請年份】2006【公開公
【摘要】 本實用新型屬于一種區(qū)熔單晶硅爐，采用中爐膛中部一側(cè)通過真空管道相通復(fù)合分子泵的抽氣口，復(fù)合分子泵的抽氣口與真空管道之間設(shè)有真空擋板閥，復(fù)合分子泵通過分子泵固定栓固接在支架上。本實用新型能用簡單的結(jié)構(gòu)提高爐膛內(nèi)的真空度，以提高硅籽晶質(zhì)量，達到理想的使用效果。 【專利類型】實用新型 【申請人】北京京運通真空設(shè)備廠 【申請人類型】企業(yè) 【申請人地址】101113北京市通州工業(yè)開發(fā)區(qū)張家灣西定福莊 【申請人地區(qū)】中國 【申請人城市】北京市 【申請人區(qū)縣】通州區(qū) 【申請?zhí)枴緾N200620117810.6 【申請日】2006-05-29 【申請年份】2006 【公開公告號】CN2913390Y 【公開公告日】2007-06-20 【公開公告年份】2007 【授權(quán)公告號】CN2913390Y 【授權(quán)公告日】2007-06-20 【授權(quán)公告年份】2007.0 【IPC分類號】C30B13/00 【發(fā)明人】張志新; 王軍; 安桂正 【主權(quán)項內(nèi)容】1、一種區(qū)熔單晶硅爐，由支架、地腳、傳動支架、上爐膛、下爐膛和中爐膛 所組成，其特征在于：中爐膛中部一側(cè)通過真空管道相通復(fù)合分子泵的抽氣口，復(fù)合 分子泵的抽氣口與真空管道之間設(shè)有真空擋板閥，復(fù)合分子泵通過分子泵固定栓固 接在支架上。 【當(dāng)前權(quán)利人】北京京運通科技股份有限公司 【當(dāng)前專利權(quán)人地址】北京市大興區(qū)經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)經(jīng)海四路158號
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