【摘要】一種預(yù)熱型直流煤粉燃燒裝置，涉及一種在切圓 燃燒煤粉鍋爐上的燃燒器。本發(fā)明的技術(shù)特點(diǎn)是攜帶煤粉的一 次風(fēng)氣流經(jīng)濃淡分離后，濃淡兩股氣流分別由各自獨(dú)立的預(yù)熱 室預(yù)熱，然后分別送入爐膛。本發(fā)明通過提高與濃股氣流相混 合時(shí)的淡股氣流的溫度
【摘要】 本發(fā)明屬于形貌測(cè)量，尤其涉及低反射率樣品的 非連續(xù)表面微觀形貌測(cè)量技術(shù)領(lǐng)域，其特征在于，包含：?jiǎn)慰v 模微片激光器，依次放置在其發(fā)射端軸線上的透鏡和分光鏡， 依次放置在分光鏡反射光路上的透鏡和光電探測(cè)器，依次放置 在其透射光路上的移頻器件和共焦光回饋模塊；正弦信號(hào)發(fā)射 源，輸出端同時(shí)和移頻器件與參考信號(hào)發(fā)生電路的輸入端相 連；信號(hào)調(diào)理電路，輸入端和光電探測(cè)器的輸出端相連；正交 相敏檢波器，兩個(gè)輸入端分別和參考信號(hào)發(fā)生電路及信號(hào)調(diào)理 電路的輸出端相連，而輸出光功率調(diào)制信號(hào)的幅度和相位，分 別用于確定樣品表面上兩點(diǎn)高度差的半波長(zhǎng)大數(shù)和小數(shù)。本發(fā) 明可同時(shí)用于連續(xù)表面以及存在大于半波長(zhǎng)形貌突變的非連 續(xù)表面的形貌測(cè)量。 【專利類型】發(fā)明申請(qǐng) 【申請(qǐng)人】清華大學(xué) 【申請(qǐng)人類型】學(xué)校 【申請(qǐng)人地址】100084北京市100084－82信箱 【申請(qǐng)人地區(qū)】中國 【申請(qǐng)人城市】北京市 【申請(qǐng)人區(qū)縣】海淀區(qū) 【申請(qǐng)?zhí)枴緾N200610114088.5 【申請(qǐng)日】2006-10-27 【申請(qǐng)年份】2006 【公開公告號(hào)】CN1945202A 【公開公告日】2007-04-11 【公開公告年份】2007 【授權(quán)公告號(hào)】CN100427875C 【授權(quán)公告日】2008-10-22 【授權(quán)公告年份】2008.0 【IPC分類號(hào)】G01B11/00; G01B11/24 【發(fā)明人】張書練; 萬新軍 【主權(quán)項(xiàng)內(nèi)容】1.一種激光共焦回饋顯微測(cè)量裝置，其特征在于，含有： 輸出單縱模的微片激光器(1)，輸出單縱模激光； 透鏡(2)和分光鏡(3)，依次放置在該激光器發(fā)射端軸線上； 移頻器件(4)，為聲光移頻器，放置在分光鏡(3)的透射光路上，移頻器件(4)輸出 的激光的頻率相對(duì)于激光器腔內(nèi)光頻ω發(fā)生Ω/2的偏移； 共焦光回饋模塊(5)，放置在移頻器件(4)的透射光路上，該模塊(5)包括依次放置 的透鏡(71)、針孔(72)、透鏡(73)和顯微物鏡(74)，其中 透鏡(71)，把移頻器件(4)輸出的透射光會(huì)聚于針孔(72)上， 針孔(72)，通過針孔(72)的透射光由透鏡(73)準(zhǔn)直成平行光束，該平行光束通過顯 微物鏡(74)會(huì)聚在樣品(6)的表面上，一部分激光被樣品(6)反射后再次進(jìn)入所述共焦 光回饋模塊(5)，針孔(72)在作為共焦系統(tǒng)中點(diǎn)光源的同時(shí)，又起到點(diǎn)探測(cè)器的作用，使 得通過所述共焦光回饋模塊(5)的反射光強(qiáng)度隨樣品(6)表面的離焦值增大而迅速減弱， 從而導(dǎo)致回饋光強(qiáng)度降低，以評(píng)估樣品(6)表面的絕對(duì)位置的變化； 另一個(gè)透鏡(2)和光電探測(cè)器(7)，依次放置在分光鏡(3)的反射光路上； 正弦信號(hào)發(fā)生源(8)，輸出端和移頻器件(4)的輸入端相連，輸出頻率為Ω/2的電信號(hào)； 參考信號(hào)發(fā)生電路(9)，輸入端和所述正弦信號(hào)發(fā)生源(8)的頻率為Ω/2的電信號(hào)輸出 端相連； 信號(hào)調(diào)理電路(10)，輸入端與所述光電探測(cè)器(7)的輸出端相連； 正交相敏檢波器(11)，兩個(gè)輸入端分別和所述參考信號(hào)發(fā)生電路(9)以及信號(hào)調(diào)理電 路(10)的輸出端相連，同時(shí)解調(diào)出光功率調(diào)制信號(hào)的幅度和相位，以便在形貌測(cè)量過程中 依次分別實(shí)現(xiàn)樣品(6)表面上兩點(diǎn)之間高度差的半波長(zhǎng)大數(shù)和半波長(zhǎng)小數(shù)的測(cè)量，據(jù)此得出 樣品(6)表面上兩點(diǎn)之間的高度差； 其中，當(dāng)樣品(6)產(chǎn)生的反射光再次經(jīng)過移頻器件(4)時(shí)形成頻率為ω+Ω的回饋光， 以Ω的調(diào)制頻率調(diào)制所述微片激光器(1)的輸出光功率。 【當(dāng)前權(quán)利人】清華大學(xué) 【當(dāng)前專利權(quán)人地址】北京市100084－82信箱 【專利權(quán)人類型】公立 【統(tǒng)一社會(huì)信用代碼】12100000400000624D 【被引證次數(shù)】15 【被自引次數(shù)】3.0 【被他引次數(shù)】12.0 【家族引證次數(shù)】3.0 【家族被引證次數(shù)】15
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