【摘要】本發(fā)明描述了9－[(2－膦酰甲氧基)乙基]腺嘌呤 雙特戊酰氧甲基酯(阿德福韋酯)的一種新晶態(tài)和晶態(tài)組合物； 本發(fā)明還描述了阿德福韋酯晶態(tài)組合物的制備方法，本發(fā)明的 晶態(tài)組合物含有該晶態(tài)和非晶態(tài)，具有規(guī)模之工業(yè)生產(chǎn)的性 能；本發(fā)明還描
【摘要】 本發(fā)明提供一種RF MEMS開關(guān)的互聯(lián)結(jié)構(gòu)的實(shí)現(xiàn)方法，屬于射頻微機(jī)電開關(guān)(RF MEMS Switch)的技術(shù)領(lǐng)域。該方法利用一次多晶硅的生長(zhǎng)，制備RF MEMS開關(guān)的驅(qū)動(dòng)、互聯(lián)結(jié)構(gòu)和接觸部分，其中，驅(qū)動(dòng)和接觸部分為摻雜的多晶硅，驅(qū)動(dòng)和接觸部分之間的互聯(lián)結(jié)構(gòu)為非摻雜多晶硅。本發(fā)明利用非摻雜的多晶硅作為RF MEMS開關(guān)驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)和接觸結(jié)構(gòu)之間的互聯(lián)結(jié)構(gòu)，在實(shí)現(xiàn)機(jī)械互聯(lián)的同時(shí)，能夠有效達(dá)到電學(xué)絕緣的效果。其方法簡(jiǎn)單實(shí)用、不需要額外淀積絕緣薄膜，避免了絕緣薄膜應(yīng)力引入的翹曲變形，并提高互聯(lián)結(jié)構(gòu)的機(jī)械強(qiáng)度和可靠性。 【專利類型】發(fā)明申請(qǐng) 【申請(qǐng)人】北京大學(xué) 【申請(qǐng)人類型】學(xué)校 【申請(qǐng)人地址】100871北京市海淀區(qū)頤和園路5號(hào) 【申請(qǐng)人地區(qū)】中國(guó) 【申請(qǐng)人城市】北京市 【申請(qǐng)人區(qū)縣】海淀區(qū) 【申請(qǐng)?zhí)枴緾N200610089304.5 【申請(qǐng)日】2006-06-16 【申請(qǐng)年份】2006 【公開公告號(hào)】CN101090169A 【公開公告日】2007-12-19 【公開公告年份】2007 【授權(quán)公告號(hào)】CN100527525C 【授權(quán)公告日】2009-08-12 【授權(quán)公告年份】2009.0 【IPC分類號(hào)】H01P1/12; H01P1/10 【發(fā)明人】李志宏; 施文典 【主權(quán)項(xiàng)內(nèi)容】1、一種RF？MEMS開關(guān)的互聯(lián)結(jié)構(gòu)的實(shí)現(xiàn)方法，其特征在于：利用一次多晶 硅的生長(zhǎng)，制備RF？MEMS開關(guān)的驅(qū)動(dòng)、互聯(lián)結(jié)構(gòu)和接觸部分，其中，驅(qū) 動(dòng)和接觸部分為摻雜的多晶硅，驅(qū)動(dòng)和接觸部分之間的互聯(lián)結(jié)構(gòu)為非摻 雜多晶硅。。 【當(dāng)前權(quán)利人】北京大學(xué) 【當(dāng)前專利權(quán)人地址】北京市海淀區(qū)頤和園路5號(hào) 【專利權(quán)人類型】公立 【統(tǒng)一社會(huì)信用代碼】12100000400002259P 【被引證次數(shù)】10 【被他引次數(shù)】10.0 【家族引證次數(shù)】2.0 【家族被引證次數(shù)】10
未經(jīng)允許不得轉(zhuǎn)載：http://m.mhvdw.cn/1776268018.html
喜歡就贊一下
