【摘要】本實(shí)用新型提供了一種電極帽套、電極小基座及 其相應(yīng)的腦電電極帽，所述電極帽套由5～7條縱向的經(jīng)線(xiàn)橡 膠圓筋和8～9對(duì)橫向的緯線(xiàn)橡膠圓筋編織而成，經(jīng)緯線(xiàn)交叉 處各有一對(duì)固定用的小圓柱，顳側(cè)還各有一個(gè)固定調(diào)節(jié)盤(pán)；電 極小基座為中空柱形，
【摘要】 一種利用倒裝技術(shù)制作功率型微結(jié)構(gòu)發(fā)光二極管管芯的方法，包括如下步驟：1)在藍(lán)寶石襯底上生長(zhǎng)外延層結(jié)構(gòu)；2)在外延層結(jié)構(gòu)上刻蝕形成圓臺(tái)；3)制作n型網(wǎng)狀歐姆接觸電極和電極焊點(diǎn)；4)在整個(gè)器件結(jié)構(gòu)的上表面淀積二氧化硅或氮化硅絕緣層；5)將圓臺(tái)上表面的絕緣層腐蝕掉；6)在整個(gè)器件結(jié)構(gòu)的上表面除電極焊點(diǎn)外的其它區(qū)域淀積p型加厚高反射率金屬電極；7)光刻腐蝕n電極焊點(diǎn)上面的絕緣層；8)將藍(lán)寶石襯底的背面減薄，切割成單個(gè)管芯結(jié)構(gòu)；9)在硅支撐體上的淀積介質(zhì)層；10)將管芯結(jié)構(gòu)通過(guò)凸點(diǎn)與硅支撐體倒裝焊接；11)切割，形成發(fā)光二極管管芯。 【專(zhuān)利類(lèi)型】發(fā)明申請(qǐng) 【申請(qǐng)人】中國(guó)科學(xué)院半導(dǎo)體研究所 【申請(qǐng)人類(lèi)型】科研單位 【申請(qǐng)人地址】100083北京市海淀區(qū)清華東路甲35號(hào) 【申請(qǐng)人地區(qū)】中國(guó) 【申請(qǐng)人城市】北京市 【申請(qǐng)人區(qū)縣】海淀區(qū) 【申請(qǐng)?zhí)枴緾N200610003199.9 【申請(qǐng)日】2006-02-24 【申請(qǐng)年份】2006 【公開(kāi)公告號(hào)】CN101026204A 【公開(kāi)公告日】2007-08-29 【公開(kāi)公告年份】2007 【授權(quán)公告號(hào)】CN100479208C 【授權(quán)公告日】2009-04-15 【授權(quán)公告年份】2009.0 【IPC分類(lèi)號(hào)】H01L33/00; H01L33/48; H01L33/60; H01L33/62; H01L33/64 【發(fā)明人】郭金霞; 王良臣 【主權(quán)項(xiàng)內(nèi)容】1、一種利用倒裝技術(shù)制作功率型微結(jié)構(gòu)發(fā)光二極管管芯 的方法，其特征在于，包括如下步驟： 1)在藍(lán)寶石襯底上生長(zhǎng)氮化鎵外延層結(jié)構(gòu)； 2)在外延層結(jié)構(gòu)上以二氧化硅作掩蔽干法刻蝕，形成圓 臺(tái)，提高發(fā)光二極管的提取效率； 3)在圓臺(tái)周?chē)钠矫嫔现谱鱪型網(wǎng)狀歐姆接觸電極和電 極焊點(diǎn)，使功率型微結(jié)構(gòu)發(fā)光二極管的電流擴(kuò)展更為均勻； 4)在整個(gè)器件結(jié)構(gòu)的上表面淀積二氧化硅或氮化硅絕緣 層，該層作為雙層布線(xiàn)的絕緣層，同時(shí)作為刻蝕完圓臺(tái)后的臺(tái) 面鈍化層，以減小因有源層暴露引起的漏電； 5)將圓臺(tái)上表面的絕緣層腐蝕掉，在圓臺(tái)上面制作p 型歐姆接觸電極； 6)在整個(gè)器件結(jié)構(gòu)的上表面除電極焊點(diǎn)外的其它區(qū)域淀 積p型加厚高反射率金屬電極，將所有的p型歐姆接觸電極互 連起來(lái)，減小發(fā)光二極管的串聯(lián)電阻； 7)光刻腐蝕n電極焊點(diǎn)上面的絕緣層，暴露n電極焊點(diǎn)； 8)將藍(lán)寶石襯底的背面減薄，按照設(shè)計(jì)的管芯大小將器 件結(jié)構(gòu)切割成單個(gè)管芯結(jié)構(gòu)； 9)在硅支撐體上的淀積介質(zhì)層，將N電極區(qū)域的介質(zhì)層 腐蝕掉，在P、N電極區(qū)同時(shí)淀積高反射率金屬焊接層，并在 上面制作凸點(diǎn)，該凸點(diǎn)的材料為金或錫； 10)將管芯結(jié)構(gòu)通過(guò)凸點(diǎn)與硅支撐體倒裝焊接； 11)切割，形成發(fā)光二極管管芯。 【當(dāng)前權(quán)利人】中國(guó)科學(xué)院半導(dǎo)體研究所 【當(dāng)前專(zhuān)利權(quán)人地址】北京市海淀區(qū)清華東路甲35號(hào) 【統(tǒng)一社會(huì)信用代碼】12100000400012385U 【被引證次數(shù)】24 【被他引次數(shù)】24.0 【家族引證次數(shù)】3.0 【家族被引證次數(shù)】24
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