【摘要】本實用新型公開了一種半導體反應室元件固定裝置包括：圓形頂板，適于通入反應氣體至反應室內的半導體元件；三個支撐架，分別配置于所述圓形頂板外圍的三個支撐點，以固定所述圓形頂板；以及閘式閥，提供所述半導體元件進出所述反應室的出入口，其中所
【摘要】 該發明屬于輸出電路控制技術，特別是一種多驅動輸出電路的電源噪聲抑制方法的應用，主要涉及多驅動輸出電路的電源噪聲抑制方法。該應用是一種16路串轉并恒流驅動電路的接口時序，具有如下特征：電路上的輸入信號包括數據、時鐘和加載，電路在加載信號上升沿之前的1－16個時鐘信號在上升沿時刻的數據信號的值并存儲，在加載信號下降沿之后的1－16個時鐘信號的上升沿時，電路按照存儲值分時設置1－16個恒流驅動的狀態，每個時鐘上升沿有且只有一個恒流驅動的狀態被設置，即每一路驅動輸出在1－n個各不相同的時刻，按照對應的輸入狀態數據分別由原狀態變化為新狀態，每一路驅動輸出變化的時刻都受到同步信號的控制，這種方法能夠有效降低由于電流瞬態變化較大所帶來的電源瞬態噪聲，從而，大幅度提升數據帶通并提升了可實現的功率輸出。 【專利類型】發明申請 【申請人】北京中慶微數字設備開發有限公司 【申請人類型】企業 【申請人地址】100085北京市海淀區上地東路1號盈創動力園區E402A室 【申請人地區】中國 【申請人城市】北京市 【申請人區縣】海淀區 【申請號】CN200610056946.5 【申請日】2006-03-07 【申請年份】2006 【公開公告號】CN101034539A 【公開公告日】2007-09-12 【公開公告年份】2007 【授權公告號】CN101034539B 【授權公告日】2011-01-26 【授權公告年份】2011.0 【發明人】邵寅亮; 徐微 【主權項內容】1、一種多驅動輸出電路的電源噪聲抑制方法，其特征是：輸入信號包括數據、 時鐘和加載，輸出信號包括16個恒流驅動，每個恒流驅動都有打開和關閉兩種 狀態，16個恒流驅動的狀態是由加載信號上升沿之前16個時鐘信號上升沿時刻 數據信號的值來決定的，16個恒流驅動的狀態在加載信號下降沿之后的第1～ 16個時鐘順次設置，每個時鐘周期中只有一個恒流驅動的狀態會變化。 【當前權利人】北京中慶微數字設備開發有限公司 【當前專利權人地址】北京市海淀區上地東路1號盈創動力園區E402A室 【專利權人類型】有限責任公司 【統一社會信用代碼】91110108633644105L 【被引證次數】TRUE 【家族被引證次數】TRUE
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