【摘要】本發明提供一種將web、文本、PDF、WordML、RTF、Excel、PowerPoint、MicrosoftWord、FrameMaker等格式文件轉換成具有語義的可擴展標記語言的裝置和實現方法。本裝置,即可擴展標記語言集中器,
【摘要】 本發明公開了一種極性MgO有序超薄膜的制備 方法,該方法包括以下步驟:首先使鎂源在抽成真空的真空室 內蒸發并沉積在襯底表面,當襯底表面上沉積一個原子層厚的 鎂層后,向真空室內通入氧氣并將襯底溫度從室溫升高至400 ℃,待襯底溫度穩定后停止通氧,使襯底自然冷卻至室溫,再 依次重復上述兩過程交替在襯底表面沉積鎂層、氧層。本發明 方法在室溫下優先沉積一個單原子層的鎂層,可以有效地阻止 氧與襯底的直接相互作用破壞襯底的晶格對稱性,而鎂原子層 與氧原子層的交替沉積,避免了在熱力學平衡作用下(100)面與 (111)面的競爭生長,有利于Mg與O的結合,并沿具有六角對 稱的方向取向生長。 【專利類型】發明申請 【申請人】中國科學院物理研究所 【申請人類型】科研單位 【申請人地址】100080北京市海淀區中關村南三街8號 【申請人地區】中國 【申請人城市】北京市 【申請人區縣】海淀區 【申請號】CN200610144107.9 【申請日】2006-11-27 【申請年份】2006 【公開公告號】CN1958455A 【公開公告日】2007-05-09 【公開公告年份】2007 【授權公告號】CN100422085C 【授權公告日】2008-10-01 【授權公告年份】2008.0 【IPC分類號】C01F5/04; C01F5/00 【發明人】郭沁林; 薛名山 【主權項內容】1、一種極性MgO有序薄膜的制備方法,其特征在于,該方法包括以下 步驟:首先使鎂源在抽成高真空的真空室內蒸發并沉積在襯底表 面,當襯底表面上沉積一個原子層厚的鎂層后,向真空室內通入氧 氣并將襯底溫度從室溫升高至400℃,待襯底溫度穩定后停止通氧, 使襯底自然冷卻至室溫,再依次重復上述兩過程交替在襯底表面沉 積鎂層、氧層。。 【當前權利人】中國科學院物理研究所 【當前專利權人地址】北京市海淀區中關村南三街8號 【統一社會信用代碼】12100000400012174C 【被引證次數】3 【被自引次數】2.0 【被他引次數】1.0 【家族引證次數】2.0 【家族被引證次數】3
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