【摘要】平面產品,后視圖無設計要點,省略后視圖。【專利類型】外觀設計【申請人】程小象【申請人類型】個人【申請人地址】100081北京市100081-108信箱【申請人地區】中國【申請人城市】北京市【申請人區縣】海淀區【申請號】CN20063
【摘要】 本實用新型公開了一種離子源引出電極系統,包 括:連接桿、屏蔽筒、減速電極、絕緣子、加速電極座、加速 電極。其中所述連接桿連接固定整個引出電極系統;所述減速 電極螺釘連接連接桿;所述屏蔽筒安裝在減速電極上;所述絕 緣子安裝在屏蔽筒和加速電極座之間;所述的加速電極鑲嵌在 加速電極座上。本實用新型結構緊湊穩定可靠,具有抗熱變形、 抗離子濺射污染性能特點;加速電極鑲嵌式結構更換操作方 便,解決了以前一般引出電極系統的缺點和局限性,滿足離子 注入機高可靠性高標準要求。 【專利類型】實用新型 【申請人】北京中科信電子裝備有限公司 【申請人類型】企業 【申請人地址】100036北京市海淀區復興路乙20號匯通商務樓北門44號辦公樓2層東段 【申請人地區】中國 【申請人城市】北京市 【申請人區縣】海淀區 【申請號】CN200620012983.1 【申請日】2006-04-07 【申請年份】2006 【公開公告號】CN2906906Y 【公開公告日】2007-05-30 【公開公告年份】2007 【授權公告號】CN2906906Y 【授權公告日】2007-05-30 【授權公告年份】2007.0 【發明人】伍三忠; 戴習毛; 鐘新華; 劉仁杰 【主權項內容】1.一種離子源引出電極系統,其特征在于:包括連接桿、屏蔽 筒、減速電極、絕緣子、加速電極座、加速電極,其中所述連接桿連 接固定整個引出電極系統;所述減速電極螺釘連接連接桿;所述屏蔽 筒安裝在減速電極上;所述絕緣子安裝在屏蔽筒和加速電極座之間; 所述的加速電極鑲嵌在加速電極座上。 【當前權利人】北京中科信電子裝備有限公司 【當前專利權人地址】北京市海淀區復興路乙20號匯通商務樓北門44號辦公樓2層東段 【專利權人類型】有限責任公司(法人獨資) 【統一社會信用代碼】911101127513429762 【被引證次數】TRUE 【家族被引證次數】TRUE
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