【摘要】本實用新型公開了一種注水泥器,它是一個空心通管,包括注水泥器本體,本體上均勻設置有注水泥循環孔,所述注水泥器本體上端連接有注水泥器上接頭,下端連接有注水泥器下接頭,所述注水泥器本體內設置有可向下游方向活動的打開套和關閉套,所述打開套
【摘要】 本發明提供了一種制備有源驅動TFT矩陣中金屬連線的方法,包括如下步驟:首先,在襯底上均勻涂敷上一層負性光刻膠,通過曝光顯影,使保留下來的負性光刻膠有倒梯形的截面;然后,在襯底和負性光刻上連續沉積所需要的金屬層;最后, 采用化學溶液將襯底上的負性光刻膠去除,在其上面的金屬層同時被去除掉,所需要的金屬連線被保留下來,其截面呈梯形。本發明與傳統的金屬連線形成方法--濕法腐蝕相比,有兩個明顯的優點:一是形成金屬連線的制備方法簡單,生產周期得到有效地縮短,同時所形成的金屬連線有良好的梯形截面形狀,便于后續其它層的沉積,有利于成品率的提高;二是可節省大量用于濕法腐蝕的化學溶液,如磷酸、硝酸和醋酸等,降低了廢液處理的難度,有效地降低TFT矩陣的生產成本。。-官網 【專利類型】發明申請 【申請人】京東方科技集團股份有限公司 【申請人類型】企業 【申請人地址】100016北京市朝陽區酒仙橋路10號 【申請人地區】中國 【申請人城市】北京市 【申請人區縣】朝陽區 【申請號】CN200610066420.5 【申請日】2006-03-30 【申請年份】2006 【公開公告號】CN101047145A 【公開公告日】2007-10-03 【公開公告年份】2007 【IPC分類號】H01L21/768; H01L21/28; H01L21/70; H01L21/02 【發明人】王章濤; 邱海軍; 陳旭; 閔泰燁; 林承武 【主權項內容】1、一種制備有源驅動TFT矩陣中金屬連線的方法,其特征在于,包 括如下步驟: 首先,在襯底上均勻涂敷上一層負性光刻膠,通過曝光顯影,使保留下 來的負性光刻膠有倒梯形的截面; 然后,在襯底和負性光刻上連續沉積所需要的金屬層; 最后,采用化學溶液將襯底上的負性光刻膠去除,在其上面的金屬層同 時被去除掉,所需要的金屬連線被保留下來,其截面呈梯形。 【當前權利人】京東方科技集團股份有限公司 【當前專利權人地址】北京市朝陽區酒仙橋路10號 【專利權人類型】其他股份有限公司(上市) 【統一社會信用代碼】911100001011016602 【被引證次數】19 【被自引次數】8.0 【被他引次數】11.0 【家族被引證次數】19
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