【摘要】本實用新型涉及一種存儲式三參數儀下井測試用通電短接頭，腳6、腳7通過導線連接，TX腳2和RX腳3分別連接單片機的串行通訊口，其特征在于，TX腳2通過導線與RX腳3連接。本實用新型將原來分別連接單片機的串行通訊口的TX腳2和RX腳3用
【摘要】 一種半導體光刻技術領域的基于多傳感器數據融合的硅片預定位系統。本發明中，傳感器模塊將檢測到的硅片信息連接到信號調理模塊，信號調理模塊對硅片信息進行調理，調理后的信號連接到數據采集模塊，數據采集模塊將信號調理模塊調理后的信號轉換成數據，并將轉換后的數據輸出到硅片形心缺口計算模塊，硅片形心缺口計算模塊對數據采集模塊轉換的數據進行處理，得到運動控制模塊的調整量，并將該調整量輸出到運動控制模塊，運動控制模塊根據硅片形心缺口計算模塊得到的調整量完成硅片定位的實際操作，限位控制模塊對運動控制模塊進行限位診斷和故障排除，運動控制模塊將部分信號輸出到信號處理模塊進行處理，為數據采集模塊提供外部時鐘信號。 【專利類型】發明申請 【申請人】上海交通大學 【申請人類型】學校 【申請人地址】200240上海市閔行區東川路800號 【申請人地區】中國 【申請人城市】上海市 【申請人區縣】閔行區 【申請號】CN200610148213.4 【申請日】2006-12-28 【申請年份】2006 【公開公告號】CN1988127A 【公開公告日】2007-06-27 【公開公告年份】2007 【授權公告號】CN100459095C 【授權公告日】2009-02-04 【授權公告年份】2009.0 【IPC分類號】H01L21/68; G03F7/20; G03F9/00; H01L21/67 【發明人】曹其新; 黃春霞; 劉仁強; 王美玲 【主權項內容】1、一種基于多傳感器數據融合的硅片預定位系統，包括：傳感器模塊、信 號調理模塊、數據采集模塊、硅片形心缺口計算模塊、運動控制模塊、限位控制 模塊，其特征在于，傳感器模塊將檢測到的硅片信息連接到信號調理模塊，信號 調理模塊接收硅片信息后對其進行調理，調理后的信號連接到數據采集模塊，數 據采集模塊將信號調理模塊調理后的信號轉換成數據，并將轉換后的數據輸出到 硅片形心缺口計算模塊，硅片形心缺口計算模塊對數據采集模塊轉換的數據進行 處理，得到運動控制模塊的調整量，并將該調整量輸出到運動控制模塊，運動控 制模塊根據硅片形心缺口計算模塊得到的調整量完成硅片定位的實際操作，限位 控制模塊對運動控制模塊進行限位診斷和故障排除，運動控制模塊將部分信號輸 出到信號處理模塊進行進一步處理，為數據采集模塊提供外部時鐘信號。 【當前權利人】上海交通大學 【當前專利權人地址】上海市閔行區東川路800號 【統一社會信用代碼】1210000042500615X0 【引證次數】2.0 【被引證次數】6 【他引次數】2.0 【被他引次數】6.0 【家族引證次數】7.0 【家族被引證次數】6
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