【摘要】噴射蒸發裝置系統所涉及的技術領域是液體的快速噴霧蒸發技術。本裝置系統由噴射器(1)、管道(2)、氣液分離器(3)、管道(4)、冷凝器(5)、管道(6)、除霧及排氣管(7)等構成。它的優點是結構簡單，造價低，無結垢問題，可以充分利用低
【摘要】 本發明涉及一種MEMS微型高靈敏度磁場傳感 器及制作方法，其特征在于所述的磁場傳感器是由雙端固置式 MEMS扭轉微鏡、磁性敏感薄膜和雙光纖準直器構成；金屬反 饋電極和磁性敏感薄膜之間形成器件扭轉間隙；通過調節架， 利用光學封裝樹脂，完成與雙光纖準直器的封接。其制作方法 特征是利用MEMS技術制作微磁敏感結構與光纖檢測技術結 合，包括傳感器基底及反饋電極制作、傳感器磁場薄膜的制作、 器件鍵合、整體減薄及反射鏡面的制作以及器件扭轉結構釋放 四大步驟，所提供的磁場傳感器最小可敏感到60nT的微弱磁 場，靈敏度達0.6dB/μT。有利于批量生產和器件成本的降低。 來源：馬 克 數 據 網 【專利類型】發明申請 【申請人】中國科學院上海微系統與信息技術研究所 【申請人類型】科研單位 【申請人地址】200050上海市長寧區長寧路865號 【申請人地區】中國 【申請人城市】上海市 【申請人區縣】長寧區 【申請號】CN200610030766.X 【申請日】2006-09-01 【申請年份】2006 【公開公告號】CN1912646A 【公開公告日】2007-02-14 【公開公告年份】2007 【授權公告號】CN1912646B 【授權公告日】2011-05-11 【授權公告年份】2011.0 【IPC分類號】G01R33/02; G01R33/032; G03F7/00 【發明人】吳亞明; 劉玉菲; 李四華; 萬助軍 【主權項內容】1、一種MEMS微型高靈敏度磁場傳感器，其特征在于所述的磁場傳感 器是由雙端固置式MEMS扭轉微鏡、磁性敏感薄膜和雙光纖準直器構成； 金屬反饋電極和磁性敏感薄膜之間形成器件扭轉間隙；通過調節架，利用光 學封裝樹脂，完成與雙光纖準直器的封接。。馬 克 數 據 網 【當前權利人】中國科學院上海微系統與信息技術研究所 【當前專利權人地址】上海市長寧區長寧路865號 【統一社會信用代碼】12100000425006790C 【被引證次數】27 【被自引次數】4.0 【被他引次數】23.0 【家族引證次數】9.0 【家族被引證次數】30
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