【摘要】本實用新型屬于一種清潔節水沖水箱，采用在水箱內設有浮閥標桿，其上滑設有浮閥座，浮閥座上設有固定鈕，浮閥固定在浮閥座上。在水箱內，或水箱外設有投放清潔液裝置。本實用新型能根據用途隨意調整控制水箱內水位，并使水箱內的儲水含清潔液，以在沖
【摘要】 本發明提供一種對準標記及其制造方法，主要用 于光刻裝置的掩模和晶片對準；該對準標記包括第一部分結構 和第二部分結構，其中，第二部分結構包括第一光柵和第二光 柵。該第一光柵的周期和第二光柵的周期互不相同且分別分布 在第一部分結構兩側。第一光柵是高階衍射光增強型光柵，并 且其基本周期內有一些細分結構，可以使零級和偶數級次衍射 光斑的能量轉移到其它奇數級次上，同時增強多個奇數級次的 衍射光光強。與現有技術相比，本發明的對準標記結構緊湊、 能夠提高光刻裝置對準系統的對準精度和工藝適應性。 【專利類型】發明申請 【申請人】上海微電子裝備有限公司 【申請人類型】企業 【申請人地址】201203上海市張江高科技園區張東路1525號 【申請人地區】中國 【申請人城市】上海市 【申請人區縣】浦東新區 【申請號】CN200610117227.X 【申請日】2006-10-18 【申請年份】2006 【公開公告號】CN1936710A 【公開公告日】2007-03-28 【公開公告年份】2007 【授權公告號】CN100456142C 【授權公告日】2009-01-28 【授權公告年份】2009.0 【發明人】徐榮偉; 李鐵軍 【主權項內容】1、一種對準標記，主要用于光刻裝置的掩模和晶片對準；其特征在于，該對準 標記包括第一部分結構和第二部分結構，其中，第二部分結構包括第一光柵和 第二光柵，該第一光柵的周期和第二光柵的周期互不相同且分別分布在第一部 分結構兩側。 【當前權利人】上海微電子裝備(集團)股份有限公司 【當前專利權人地址】上海市浦東新區張東路1525號 【專利權人類型】有限責任公司 【統一社會信用代碼】91310000736664790J 【被引證次數】36 【被自引次數】8.0 【家族被引證次數】36
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