【摘要】本實用新型涉及一種照明實心蠟的點燃裝置。 它是把實心蠟體7置在蠟管6里坐在托盤13上，盤 與管之間為鍵、槽(9，10)滑動配合。鍵體上拴有繩索 繞過滑輪11與重環連接；蠟管上掛有盤套2，盤套上 坐有燈罩，蠟管坐在底座15上；蠟體上坐
【摘要】 本發明提供了一種消除光刻膠中氣泡的方法，具體工藝步驟為：對晶片進行第一次烘焙；沉積凸點下金屬層；形成光刻膠層；進行第二次烘焙。使用上述的方法能消除具有各種結構的晶片表面的氣泡，消除率達到99.9％。本發明還提供一種消除了光刻膠中氣泡的凸點制作方法，以提高凸點制作工藝的良品率。 【專利類型】發明申請 【申請人】中芯國際集成電路制造(上海)有限公司 【申請人類型】企業 【申請人地址】201203上海市浦東新區張江路18號 【申請人地區】中國 【申請人城市】上海市 【申請人區縣】浦東新區 【申請號】CN200610026756.9 【申請日】2006-05-22 【申請年份】2006 【公開公告號】CN101078890A 【公開公告日】2007-11-28 【公開公告年份】2007 【授權公告號】CN101078890B 【授權公告日】2010-11-10 【授權公告年份】2010.0 【IPC分類號】G03F7/26; H01L21/00 【發明人】梅娜; 王津洲 【主權項內容】1.一種消除光刻膠中氣泡的方法，其特征在于包括下列步驟：對晶片進 行第一次烘焙；沉積凸點下金屬層；形成光刻膠層；進行第二次烘焙。 【當前權利人】中芯國際集成電路制造(上海)有限公司 【當前專利權人地址】上海市浦東新區張江路18號 【專利權人類型】有限責任公司(外國法人獨資) 【統一社會信用代碼】91310115710939629R 【引證次數】2.0 【被引證次數】7 【他引次數】2.0 【被自引次數】2.0 【被他引次數】5.0 【家族引證次數】5.0 【家族被引證次數】7
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