【摘要】本實用新型公開了一種具有緩沖功能的阻尼器， 包括缸體、設在缸體兩端的端面法蘭、設置缸體內、穿過兩端 端面法蘭的活塞桿，套在活塞桿上與活塞桿聯動的活塞；其特 點是，還包括設在缸體內的一對緩沖部件，所述的緩沖部件設 置在缸體兩端的端面法
【摘要】 本發明屬于薄膜沉積設備，是真空電弧離子鍍膜 機的核心部件。采用電磁線圈磁場控制電弧弧斑在 陰極表面上的運動軌跡和速度，顯著減少了蒸發源發 射的金屬液滴，提高了鍍膜質量。蒸發源在200A以 上的大電弧電流和與之相匹配的磁場下工作時，電弧 弧根可分裂為幾個小的弧斑，在幾乎整個陰極表面上 作多軌跡旋轉，使陰極表面燒蝕均勻，鍍膜沉積速率 提高2-3倍。采用環形陰極蒸發源，因橫向磁場的 增加，使弧斑旋轉速度更高，能基本消除蒸發源發射 的金屬液滴，陰極材料利用率更高。 【專利類型】發明申請 【申請人】中國科學院電工研究所 【申請人類型】科研單位 【申請人地址】100080北京市海淀區中關村北二條6號 【申請人地區】中國 【申請人城市】北京市 【申請人區縣】海淀區 【申請號】CN91103541.9 【申請日】1991-06-01 【申請年份】1991 【公開公告號】CN1055774A 【公開公告日】1991-10-30 【公開公告年份】1991 【授權公告號】CN1029568C 【授權公告日】1995-08-23 【授權公告年份】1995.0 【IPC分類號】C23C14/32 【發明人】吳振華; 黃經筒; 游本章; 任俠 【主權項內容】1、一種大電流多弧斑受控真空電弧蒸發源，由主弧電源，陰極和含電磁線圈的磁路結構組成，其特征在于，主電弧電源為能使弧根分裂為幾個整個陰極表面作多軌跡旋轉的小弧斑的大電流電源；電磁線圈為可在陰極表面上產生使弧斑在陰極表面上快速旋轉的橫向磁場分量和使弧斑向陰極表面中心聚焦的縱向磁場分量的可調電流的電磁線圈；含電磁線圈的磁路結構由線圈(11)和由導磁材料制成的導磁導電桿(21)、導磁筒(20)、陰極座法蘭(17)、陰極筒體(12)、可拆卸陰極法蘭(10)、陰極壓板(9)、下導磁環(6b)或(6d)、上導磁環(6a)或(6c)以及陰極(3)組成，繞制在線圈骨架(5)上的線圈(11)套在導磁筒(20)外周，上端放在水密封蓋(4)位于陰極極筒體(12)內部，陰極筒體(12)下端面和陰極座法蘭(17)相接，上端放有陰極(3)，陰極座法蘭(17)內部設有以防法蘭過熱并保護密封圈不因過熱而變質并和陰極筒體(12)中的兩個通水孔(27)相通的水冷空腔(28)，底部開有和端面垂直的盲孔，盲孔中裝有和水冷空腔(28)相通的冷卻水管(26)，由導磁或非導磁材料制成的對陰極(3)絕緣的屏蔽(7)點焊在上導磁環(6a)或(6c)上，并由3個屏蔽極支撐螺桿(13)固定在主支撐桿(14)上，主支撐桿(14)由螺釘固定在位于陰極座法蘭(17)上端面的絕緣密封法蘭板(16)上，帶內螺紋的下導磁環(6b)和帶外螺紋的上導磁環(6a)螺紋連結，陰極(3)經過燒蝕變短后，調節屏蔽支撐(13)和下導磁環(6b)或(6d)可調節屏蔽(7)和陰極(3)的相對位置，高溫絕緣屏蔽環(2)鑲嵌在上導磁環(6a)內，點弧極(1)由緊固螺釘固定在點弧極支撐桿(8)上，點弧極支撐桿(8)可直接固定在電磁鐵或氣動元件(圖中未標出)的活動部位上，導磁筒(20)的內孔和陰極座法蘭(17)的內孔中套有導磁導電桿(21)，并用螺母將導磁筒(20)、線圈(11)、水密封蓋(4)固定在陰極座法蘭(17)上的陰極筒體(12)內，同時，還將墊圈(22)、密封圈(23)、導電片(24)固定在導磁導電桿(21)的下端。 【當前權利人】中國科學院電工研究所 【當前專利權人地址】北京市海淀區中關村北二條6號 【統一社會信用代碼】121000004000124147 【引證次數】4.0 【被引證次數】20.0 【他引次數】4.0 【被自引次數】1.0 【被他引次數】19.0 【家族引證次數】4.0 【家族被引證次數】21.0
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