【摘要】本發明涉及一種光刻投影物鏡遠心測量方法,利用一可起到孔徑光闌作用的專用遠心掩模,并在該遠心掩模上設置至少一個用以測量視場內遠心的通光孔,通過在不同的成像位置測量物體的像來確定通過該點的主光線,從而計算獲得遠心;測量方法包括:傳感器掃
【摘要】 本實用新型是用伏安法四端子測量高、低壓分合 電器(開關)的接觸電阻或回路電阻的儀器。它由恒 流源經端子I1、I2到被測電器開關[2]至放大器[3],再 由數字表[4]直接顯示被測開關電阻值,數字表[5]直 接顯示恒流源[1]產生的直流數值。該儀器的特點是產生0~150安連續可調的直 流恒定電流,由數字表直接顯示電流值和被測電器的 電阻值,讀數穩定,測試重復性好。 【專利類型】實用新型 【申請人】武漢水利電力學院 【申請人類型】學校 【申請人地址】430072湖北省武漢市武昌珞珈山 【申請人地區】中國 【申請人城市】武漢市 【申請人區縣】武昌區 【申請號】CN90221493.4 【申請日】1990-09-27 【申請年份】1990 【公開公告號】CN2080677U 【公開公告日】1991-07-10 【公開公告年份】1991 【授權公告號】CN2080677U 【授權公告日】1991-07-10 【授權公告年份】1991.0 【IPC分類號】G01R27/14 【發明人】游華杰; 楊國濤 【主權項內容】1、一種對高、低壓分合電器(開關)接觸電阻或回路電阻進行測量的150安微歐級回路電阻測試儀,它由電流源[1]、電壓放大器[3]、顯示表[4]、[5]所構成,其中顯示表[4]與電壓放大器[3]相連,用以顯示被測開關電器的阻值;顯示表[5]與電流源[1]相連,用以顯示電流源[1]的電流值;在電流源[1]的兩輸出端有四個測量端口,I1、I2用以接入被測開關電器[2];V1、V2端口引出被測開關電器[2]上的電壓降,其特征在于:所述的電流源[1]采用恒定電流源。 【當前權利人】武漢水利電力學院 【當前專利權人地址】湖北省武漢市武昌珞珈山 【被引證次數】7.0 【被他引次數】7.0 【家族被引證次數】7.0
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