【摘要】本實用新型屬于日常生活用品。它主要是解決 現(xiàn)有衣架穩(wěn)定性差，易傾倒和不能轉動的問題，它的 主要特征是在支腿的底端設有皮碗，和設有可相對支 承桿轉動的套桿、軸承。具有穩(wěn)定性好、不易傾倒、使 用方便、易于制造的優(yōu)點。來自馬-克-數(shù)-據(jù)-
【摘要】 一種開管鋁鎵擴散工藝。本發(fā)明是屬于高壓大 電流電力半導體器件生產領域中的一種擴散工藝。 該工藝是由在硅片上涂布鋁乳膠源擴散和開管鎵擴 散同步進行為特征的。整個擴散過程是在二氧化硅 乳膠源經高溫后形成的氧化膜及氮氣(或惰性氣體) 保護下，于同一擴散爐內經一次高溫連續(xù)完成一次P 型擴散的。該工藝簡單靈活，操作容易，穩(wěn)定可靠，擴 散雜質分布理想，擴散參數(shù)可控可調性好。用該工藝 生產的器件電參數(shù)一致性和動態(tài)特性好，其合格率可 提高15-25％，優(yōu)品率可提高20％左右，經濟效益顯 著。 【專利類型】發(fā)明申請 【申請人】山東師范大學 【申請人類型】學校 【申請人地址】250014山東省濟南市文化東路38號 【申請人地區(qū)】中國 【申請人城市】濟南市 【申請人區(qū)縣】歷下區(qū) 【申請?zhí)枴緾N90106318.5 【申請日】1990-11-24 【申請年份】1990 【公開公告號】CN1057364A 【公開公告日】1991-12-25 【公開公告年份】1991 【授權公告號】CN1036101C 【授權公告日】1997-10-08 【授權公告年份】1997.0 【IPC分類號】H01L21/225; H01L21/223; C30B31/00; H01L21/02 【發(fā)明人】林玉松; 劉秀喜; 高大江 【主權項內容】1、一種開管鋁鎵擴散工藝，將研磨、清洗干凈的N型硅片進行雜質源擴散，本發(fā)明的特征是將硅片先涂布鋁乳膠源擴散，后開管鎵擴散，再同時進行鋁、鎵的再分布，整個擴散過程是在二氧化硅乳膠源經高溫后形成的氧化膜及氮氣(或惰性氣體)保護下，于同一擴散爐內經一次高溫連續(xù)完成的一次P型擴散(鋁鎵預擴與再分布分兩次進行也可)，雜質源為鋁乳膠源、氧化鎵，反應氣體為氫氣。 【當前權利人】山東師范大學 【當前專利權人地址】山東省濟南市文化東路38號 【專利權人類型】公立 【統(tǒng)一社會信用代碼】1237000049557382XT 【被引證次數(shù)】8.0 【被他引次數(shù)】8.0 【家族引證次數(shù)】1.0 【家族被引證次數(shù)】8.0
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